[实用新型]一种尾气处理部件

说明书

本实用新型公开了一种尾气处理部件，包括尾气输入管路、旁通管路、第一阀门、第二阀门和燃烧箱，尾气输入管路接收尾气，尾气输入管路连接旁通管路，旁通管路输入氮气，旁通管路上设置有压力监测装置，用于对进入旁通管路上的氮气压力进行监测，尾气输入管路上依次设置有第一阀门和第二阀门，第二阀门连接燃烧箱；本实用新型尾气处理部件通过对尾气进行稀释，使尾气浓度降低，避免尾气直接进入燃烧室产生的安全隐患；本实用新型尾气处理部件在旁通管路上设置压力监测装置，对进入旁通管路的氮气压力进行监测，保证对尾气的稀释效果。

技术领域

本实用新型涉及尾气处理技术领域，尤其涉及一种尾气处理部件。

背景技术

由于全球电子、光伏产业的蓬勃发展，及我国政府大力提倡科技兴国，国内半导体、光伏制造业发展迅猛。

在半导体、光伏相关产业常用的制程中需要用到许多特殊气体，如硅烷，有毒、可燃，危害性相当大。对含有这些特殊气体的尾气处理应相当谨慎，否则极可能出现爆炸隐患。有些厂家采用对氮气进行稀释处理，但是无法准确控制氮气流量压力，也无法对压力大小进行有效监控，导致无法得知管道内压力是否高于正常使用压力范围或者低于正常使用压力范围以及有无压力，存在一定的安全风险。

实用新型内容

为了解决现有的包含特殊气体的尾气在采用氮气进行稀释处理时，无法有效监控氮气流量压力而带来安全隐患的问题，本实用新型的目的是提供一种尾气处理部件。

为了实现上述目的，本实用新型采用如下技术方案：一种尾气处理部件，包括尾气输入管路、旁通管路、第一阀门、第二阀门和燃烧箱，所述尾气输入管路接收尾气，所述尾气输入管路连接旁通管路，所述旁通管路输入氮气，所述旁通管路上设置有压力监测装置，所述的压力监测装置一端设置氮气接入口，另一端设置氮气接出口，所述压力监测装置上设置有调节旋钮、显示器和报警装置，所述压力监测装置内设置有压力传感器和处理器，所述压力传感器用于感应进入压力监测装置的压力大小，并将感应的压力信号传递给处理器，处理器进行处理分析，并将处理后的信号传递给显示器，当处理后的压力信号低于或高于正常的压力大小时，处理器将处理结果传递给报警装置，报警装置发出报警信号，所述尾气输入管路上依次设置有第一阀门和第二阀门，所述第二阀门连接燃烧箱。

尾气经尾气输入管路输入，尾气输入管路连接旁通管路，旁通管路中通入氮气，对尾气输入管路中的尾气进行稀释，避免尾气浓度过高，产生爆炸问题。尾气输入管路接收的尾气通入第一阀门，第一阀门截留尾气中的固体物，避免尾气中杂质过多，造成管路堵塞；第一阀门外侧设置第二阀门，控制进入燃烧箱的气体量。

旁通管路上设置有压力监测装置，将监测到的压力数据传递给显示器，方便工作人员进行查看，当压力监测装置监测到的压力数据低于或高于正常压力范围时，报警装置会发出报警信号，提醒工作人员对进入管路的氮气压力进行调节，防止压力过大过小带来安全风险。

其中，所述第一阀门为过滤阀。

其中，所述第二阀门为单向阀。

通过于第一阀门外侧设置第二阀门，第二阀门为单向阀，允许尾气进入燃烧箱，而燃烧箱燃烧后的气体无法进入尾气输入管路。

与现有技术相比，本实用新型实现的有益效果：本实用新型尾气处理部件通过对尾气进行稀释，使尾气浓度降低，避免尾气直接进入燃烧室产生的安全隐患；本实用新型尾气处理部件在旁通管路上设置压力监测装置，对进入旁通管路的氮气压力进行监测，保证对尾气的稀释效果。

附图说明

以下结合附图和具体实施方式来进一步详细说明本实用新型：

图1是本实用新型尾气处理部件的结构示意图；

图2是本实用新型尾气处理部件中压力监测装置的结构示意图；

图3是本实用新型尾气处理部件中压力监测装置的工作原理图。