[实用新型]基板夹具和基板承载装置

权利要求书

1.一种基板夹具，其特征在于，包括底座和夹持杆，

所述夹持杆的中部通过枢接部枢接于所述底座上，所述夹持杆的一端设置有第一夹持部，所述夹持杆的另一端设置有传动连接部；

所述底座上设置有与所述第一夹持部相对应的第二夹持部，所述底座上设置有与所述传动连接部传动连接的压力驱动结构；

其中，在所述压力驱动结构的控制下，所述夹持杆绕所述枢接部摆动，以使得所述第一夹持部向靠近或远离所述第二夹持部的方向移动。

2.根据权利要求1所述的基板夹具，其特征在于，所述压力驱动结构包括：

用于提供动力源的压力源；

通过流体回路与所述压力源连接的流体压力驱动缸，所述流体压力驱动缸与所述传动连接部连接；

及，设置于所述流体回路上的控制开关组件，用于控制所述流体压力驱动缸内的流体流向，以使所述第一夹持部向靠近或远离所述第二夹持部的方向移动。

3.根据权利要求2所述的基板夹具，其特征在于，所述流体压力驱动缸包括第一腔室和第二腔室，所述控制开关组件包括换向电磁阀，所述流体回路包括连接在所述第一腔室和所述换向电磁阀之间的第一管路、及连接在所述第二腔室和所述换向电磁阀之间的第二管路；

所述换向电磁阀具有第一状态和第二状态；

所述换向电磁阀在第一状态时，所述压力源通过所述第一管路与所述第一腔室连通，所述压力源所提供的流体进入所述第一腔室，以使所述第一夹持部向靠近所述第二夹持部的方向移动；

所述换向电磁阀在第二状态时，所述压力源通过所述第二管路与所述第二腔室连通，所述压力源所提供的流体进入所述第二腔室，以使所述第一夹持部向远离所述第二夹持部的方向移动。

4.根据权利要求3所述的基板夹具，其特征在于，所述控制开关组件包括设置于所述第一管路和/或所述第二管路上的流量控制阀，用于控制进入所述第一腔室的流体的流量。

5.根据权利要求3所述的基板夹具，其特征在于，所述控制开关组件包括设置于所述第二管路上的单向阀。

6.根据权利要求3所述的基板夹具，其特征在于，所述控制开关组件还包括设置于所述压力源与所述换向电磁阀之间的第三管路上的溢流阀，用于控制所述第三管路上的流体压力值。

7.根据权利要求3所述的基板夹具，其特征在于，还包括弹性件，所述弹性件的一端固定于所述底座上，所述弹性件的另一端固定于所述夹持杆上，且位于所述枢接部与所述第一夹持部之间。

8.根据权利要求3所述的基板夹具，其特征在于，所述第一夹持部上设置有弹性缓冲件。

9.根据权利要求8所述的基板夹具，其特征在于，所述弹性缓冲件为橡胶套，所述橡胶套套设于所述第一夹持部的端部。

10.一种基板承载装置，其特征在于，包括权利要求1-9任一项所述的基板夹具。