[发明专利]薄膜压力传感器校准仪

说明书

本发明涉及薄膜压力传感器校准仪，包括装置支架，装置支架上设置有用于相应薄膜压力传感器放置的放置平面，装置支架上于所述放置平面的上侧分布有多个校准单元，各校准单元均包括竖向布置的由刚性材料制成的用于填充液体的校准缸体，每个校准缸体的下端均设有分别用于对薄膜压力传感器上的对应电极点施压的气囊，气囊由柔性材料制成，气囊与所述校准缸体的内腔相通，校准缸体的上端沿上下方向导向移动装配有承载活塞，承载活塞上端具有用于相应砝码放置的承载面，薄膜压力传感器校准仪还包括用于检测所述校准缸体内液压的压力传感器。本发明提供了一种不易损伤薄膜压力传感器的薄膜压力传感器校准仪。

技术领域

本发明涉及校准设备中的薄膜压力传感器校准仪。

背景技术

薄膜压力传感器是一种常见的压力传感器，现有的薄膜压力传感器如中国专利CN105806517A公开的压力传感器，该压力传感器包括上电极层、下电极层以及布置在上电极层、下电极层之间的绝缘层，绝缘层上设置有与上电极层、下电极层上的电极相对应的通孔，上电极层、下电极层上分布有多组对应布置的电极点。在薄膜压力传感器受压时，上、下电极层上对应的电极点之间的阻力发生变化，根据对应电极点之间的阻力变化计算出薄膜压力传感器对应位置处所受到的压力。

为保证薄膜压力传感器的测量精度，需要定期的对薄膜压力传感器进行校准，而由于薄膜压力传感器的特殊结构，现有技术中的刚性校准装置对薄膜压力传感器进行施压时，特别容易损伤薄膜压力传感器，造成薄膜压力传感器不可恢复的损坏。

发明内容

本发明的目的在于提供了一种不易损伤薄膜压力传感器的薄膜压力传感器校准仪。

为解决上述技术问题，本发明中的技术方案如下：

薄膜压力传感器校准仪，包括装置支架，装置支架上设置有用于相应薄膜压力传感器放置的放置平面，装置支架上于所述放置平面的上侧分布有多个校准单元，各校准单元均包括竖向布置的由刚性材料制成的用于填充液体的校准缸体，每个校准缸体的下端均设有分别用于对薄膜压力传感器上的对应电极点施压的气囊，气囊由柔性材料制成，气囊与所述校准缸体的内腔相通，校准缸体的上端沿上下方向导向移动装配有承载活塞，承载活塞上端具有用于相应砝码放置的承载面，薄膜压力传感器校准仪还包括用于检测所述校准缸体内液压的压力传感器。

所述压力传感器为安装于承载活塞下侧的陶瓷压力传感器。

承载活塞下端面上开设有安装槽，所述陶瓷压力传感器安装于所述安装槽中。

所述校准缸体包括主缸体和设置于主缸体上端的内径比主缸体大的大径段缸体，所述气囊设置于所述主缸体下端，所述承载活塞与大径段缸体的内壁导向滑动配合。

气囊的底部均为平面。

本发明的有益效果为：当需要对薄膜压力传感器进行校准时，将薄膜压力传感器置于装置支架的承载面上，向对应校准单元的承载面上放置砝码，砝码带动承载活塞移动而使得校准缸体内的液体产生压力，气缸将该压力作用于薄膜压力传感器的对应电极点施压，通过校准单元的压力传感器对薄膜压力传感器的对应电极点进行校准，气囊与薄膜压力传感器之间为柔性接触，不会对薄膜压力传感器造成过度的损坏，有效的保护了薄膜压力传感器。

附图说明

图1是本发明的一个实施例的结构示意图。

具体实施方式