[发明专利]一种用于排放指定体积液体的方法

说明书

本发明提供了一种用于排放指定体积液体的方法，无须知道容器底部的截面积以及化学液的密度值，且不依赖于高精准度的模拟传感器；利用排液时间‑实际排液体积关系模型ν＝ΔV/T，并配合采用模拟传感器和排液阀，对化学液进行分步排液，有效减轻了传统排液方法中因仅依赖模拟传感器计量导致的体积误差较大的问题，大大提高了排液体积的准确度，适于各种化学液的配取；排液过程中通过模拟传感器在计量槽中液体液面趋于稳定的情况下对液体体积进行精确测量，进一步确保测试结果准确性；此外，在校准过程中仅需用水进行校准，大大增加了校准人员的人身安全，且只需校准一次，在后期使用过程中则由控制系统自动完成校准任务，有利于工作效率的提高。

技术领域

本发明涉及排液技术领域，尤其涉及一种用于排放指定体积液体的方法。

背景技术

在半导体、LED、太阳能电池以及其它工业制造过程中，常常需要利用一定比例的酸性或碱性混合化学液，对产品进行清洗或刻蚀等湿法处理。在湿法处理工艺中，对化学液用量的精度通常要求较高，若采用用量或配比不准确的化学液对产品进行处理，常常会导致不良品的产生。

目前大多数用于湿法处理的工艺设备，通常利用离散水平传感器和液位检测装置对储液容器中的液体体积进行测量。常用的离散水平传感器包括电容式传感器、光学传感器、背压式液位传感器、浮子式传感器等等，然而，仅仅依赖这些传感器的测量对化学液进行配取，总会或多或少存在一些缺陷：现有的一些传感器须基于容器底部的截面积以及化学液的密度值，进行体积测量，当需要对不同种类的化学液进行排液时，都要事先利用化学液进行校准，导致工作效率低，且不利于操作人员的人身安全；对于一些易产生气泡的化学液，例如双氧水和氨水，液面处的气泡可能会导致液位读数产生偏差；在将化学液从外部注入储液容器的过程中，常常会引起液面的振荡，由此可能会使传感器提前或推迟触发；对于储液容器的供液系统而言，在其供液过程中供液速率可能会发生变化，有时甚至会存在暂停的情况，这些也同样会影响配液结果的精确度；此外，对于同一设备，可能会需要配制不同的化学液配方以应用于不同工艺过程，通常是通过设置多个传感器或移动传感器的位置来实现，而储液容器的最大容量不同、传感器的种类不同以及关闭排液阀时产生的无法避免的时间延迟，有时也会导致最终配制的化学液的精度并不能满足使用者的需求。

由于现有的化学液计量系统存在上述诸多限制，迫切需要开发出更加精确、且适用于各种化学液的计量方法。

发明内容

针对上述存在的技术问题，本发明的目的是提供一种用于排放指定体积液体的方法，相对于仅仅依赖于模拟传感器测量结果进行排液的传统方法，具有准确度高、适用范围广等优点。

本发明的技术方案是：一种用于排放指定体积液体的方法，采用排液装置，所述排液装置可以安装在任何配液设备上，所述排液装置包括排液阀、模拟传感器和控制系统，所述排液阀用于排放储液容器中的液体，所述模拟传感器用于获取储液容器或接收容器中液体的体积，模拟传感器可以是任何类型的采用直接或间接方式获取液体体积的模拟传感器，所述控制系统分别控制连接模拟传感器和排液阀，控制系统能够读取模拟传感器的信号输出，以及控制排液阀的启闭；

所述一种用于排放指定体积液体的方法包括：

(1)预排液：控制系统控制排液阀开启和关闭，进行至少一次预排液，以预先排出体积少于目标排液体积V_t的一定量液体；

(2)二次排液：控制系统控制排液阀开启和关闭，进行二次排液，以排出累计排液体积少于目标排液体积ΔV，同时控制系统记录下累计排液体积ΔV_s、二次排液的体积变化ΔV以及二次排液时排液阀持续开启的时间T，通过排液时间-实际排液体积关系，计算得到排液速率ν，所述排液时间-实际排液体积关系根据实验室结果数据拟合得到，排液时间-实际排液体积关系为ν＝ΔV/T；