[发明专利]一种镀膜机水平修正装置在审
申请号: | 201811642812.0 | 申请日: | 2018-12-29 |
公开(公告)号: | CN109518134A | 公开(公告)日: | 2019-03-26 |
发明(设计)人: | 蔡国;龚涛;杨佳葳;龚平;谢俊 | 申请(专利权)人: | 湖南宇诚精密科技有限公司 |
主分类号: | C23C14/24 | 分类号: | C23C14/24;C23C14/54 |
代理公司: | 长沙明新专利代理事务所(普通合伙) 43222 | 代理人: | 徐新 |
地址: | 413001 湖南省益阳*** | 国省代码: | 湖南;43 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 固定座 连接座 活动连接 真空密封 传动销 法兰板 横梁 气缸 减振组件 水平修正 镀膜机 修正板 减少装置 运转过程 不均匀 搅动 膜厚 | ||
一种镀膜机水平修正装置,包括修正板、横梁、减振组件、连杆、固定座、真空密封气缸、法兰板、接头、和连接座;所述修正板固定在横梁上;所述连接座一侧与横梁固定连接,所述连接座另一侧与接头通过传动销活动连接,所述连接座中间位置与连杆通过传动销活动连接;所述接头与真空密封气缸相连,所述真空密封气缸固定在法兰板上;所述连杆的一端通过传动销与固定座活动连接;所述减振组件安装在固定座上,所述固定座固定在法兰板上。利用本发明,可以有效的减少装置运转过程中对气流的搅动,减少对膜厚不均匀的影响。
技术领域
本发明涉及一种镀膜机水平修正装置。
背景技术
目前,现有镀膜机水平修正装置由于设计上存在的不足,其存在的缺陷是膜厚不均匀。
发明内容
本发明所要解决的技术问题是,提供一种可以有效的减少装置运转过程中对气流的搅动,减少对膜厚不均匀的影响的镀膜机水平修正装置。
本发明解决其技术问题所采用的技术方案是:一种镀膜机水平修正装置,包括修正板、横梁、减振组件、连杆、固定座、真空密封气缸、法兰板、接头、和连接座;
所述修正板固定在横梁上;所述连接座一侧与横梁固定连接,所述连接座另一侧与接头通过传动销活动连接,所述连接座中间位置与连杆通过传动销活动连接;所述接头与真空密封气缸相连,所述真空密封气缸固定在法兰板上;所述连杆的一端通过传动销与固定座活动连接;所述减振组件安装在固定座上,所述固定座固定在法兰板上。
进一步,所述减振组件中包括1个塑料垫、1个固定座、1个定位套、1个弹簧、1个压盖、1个平垫、1个锁紧螺母、1个中心轴;所述塑料垫、定位套、弹簧、平垫以及锁紧螺母均通过中心轴、压盖和固定座定位。
进一步,所述修正板通过螺钉固定在横梁上。
进一步,所述连接座另一侧与接头通过传动销和耐磨垫活动连接。
进一步,所述连接座中间位置与两个连杆通过传动销和耐磨垫活动连接。
进一步,所述连杆的一端通过传动销和耐磨垫与固定座活动连接。
与现有技术相比,本发明具有以下优点:可以有效的减少装置运转过程中对气流的搅动,减少对膜厚不均匀的影响;相对垂直方向的修正结构,水平方向的修正装置可以随意控制修正板与蒸发源之间的相对高度。
附图说明
图1为本发明镀膜机水平修正装置实施例的结构示意图;
图2为图1所示实施例的减振组件的示意图;
图中:1.修正板,2.横梁,3.减振组件,4.连杆,5.固定座,6.真空密封气缸,7.法兰板,8.接头,9.耐磨垫,10.传动销,11.连接座,12.塑料垫,13.固定座,14.定位套,15.弹簧,16.压盖,17.平垫,18.锁紧螺母,19.中心轴。
具体实施方式
以下结合附图及实施例对本发明作进一步说明。
实施例
参照图1-图2,一种镀膜机水平修正装置,包括1个修正板1、1个横梁2、1套减振组件3、2个连杆4、1个固定座5、1个真空密封气缸6、1个法兰板7、1个接头8、6个耐磨垫9、3个传动销10和1个连接座11;
所述修正板1通过螺钉固定在横梁2上;所述连接座11一侧与横梁2固定连接,另一侧与接头8通过传动销10和耐磨垫9活动连接,所述连接座11中间位置与两个连杆通过传动销10和耐磨垫9活动连接;所述接头8与真空密封气缸6相连,所述真空密封气缸6固定在法兰板7上;所述两个连杆4的另一端通过传动销10和耐磨垫9与固定座5活动连接;所述减振组件3安装在固定座5上,所述固定座5固定在法兰板7上。
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