[发明专利]低温等离子体放电装置和分解硫化氢的方法

权利要求书

1.一种低温等离子体放电装置，该放电装置包括：

第一空腔(1)，所述第一空腔(1)上分别设置有第一入口(11)和第一出口；

第二空腔(2)，所述第二空腔(2)嵌套在所述第一空腔(1)的内部，且所述第二空腔(2)上分别设置有第二入口(21)和第二出口(22)；

第三空腔(7)，所述第三空腔(7)嵌套在所述第一空腔(1)的外部，且所述第三空腔(7)上分别设置有第三入口(71)和第三出口(72)；

内电极(3)，至少部分所述内电极(3)伸入所述第一空腔(1)中；

外电极(4)，形成所述第一空腔(1)的至少部分侧壁或者环绕设置在所述第一空腔(1)的侧壁上；以及

阻挡介质(6)，所述阻挡介质(6)设置在所述内电极(3)和所述外电极(4)之间，使得所述内电极(3)和所述外电极(4)之间的放电区域由所述阻挡介质(6)间隔，且分别与所述内电极(3)和所述外电极(4)之间的距离均大于0；

所述内电极(3)和所述外电极(4)均为固体电极，且两者的形状相互配合以形成等径结构；

所述内电极(3)的外侧壁和所述外电极(4)的内侧壁之间的距离为L₁，所述阻挡介质(6)的厚度为D₁，L₂＝L₁-D₁，且L₂与D₁之间的比例关系为(0.1～100)：1，优选L₂与D₁之间的比例关系为(0.1～30)：1；更优选为(0.2～15):1。

2.根据权利要求1所述的低温等离子体放电装置，其中，所述内电极(3)形成所述第二空腔(2)的至少部分侧壁。

3.根据权利要求1所述的低温等离子体放电装置，其中，所述内电极(3)环绕设置在所述第二空腔(2)的侧壁上。

4.根据权利要求3所述的低温等离子体放电装置，其中，所述内电极(3)环绕设置在所述第二空腔(2)的外侧壁上。

5.根据权利要求1-4中任意一项所述的低温等离子体放电装置，其中，所述第一空腔(1)的侧壁由所述外电极(4)形成。

6.根据权利要求1-4中任意一项所述的低温等离子体放电装置，其中，所述外电极(4)环绕设置在所述第一空腔(1)的内侧壁上。

7.根据权利要求1-6中任意一项所述的低温等离子体放电装置，其中，所述第一空腔(1)的个数为1个。

8.根据权利要求1-6中任意一项所述的低温等离子体放电装置，其中，所述第一空腔(1)的个数为2个以上，且各个所述第一空腔(1)中分别设置有所述内电极(3)、所述外电极(4)和所述阻挡介质(6)。

9.根据权利要求8所述的低温等离子体放电装置，其中，各个所述内电极(3)彼此并联连接；

优选地，各个所述外电极(4)彼此并联连接。

10.根据权利要求1-9中任意一项所述的低温等离子体放电装置，其中，所述阻挡介质的材质为电绝缘材料；优选选自玻璃、石英、陶瓷、搪瓷、聚四氟乙烯和云母中的至少一种；

所述外电极(4)和所述内电极(3)各自独立地选自导电材料：优选各自独立地选自石墨管、石墨粉、金属棒、金属箔、金属网、金属管、金属粉和石墨棒中的至少一种。

11.根据权利要求1-10中任意一项所述的低温等离子体放电装置，其中，该放电装置还包括接地线(5)，所述接地线的一端与接地电极电连接，所述接地电极为所述外电极(4)或所述内电极(3)，且所述外电极(4)和所述内电极(3)中的另一者为高压电极。