[发明专利]薄膜太阳能电池及其制备方法有效
申请号: | 201811642429.5 | 申请日: | 2018-12-29 |
公开(公告)号: | CN109728173B | 公开(公告)日: | 2022-06-03 |
发明(设计)人: | 沈承焕 | 申请(专利权)人: | 无锡极电光能科技有限公司 |
主分类号: | H01L51/44 | 分类号: | H01L51/44;H01L51/48 |
代理公司: | 北京清亦华知识产权代理事务所(普通合伙) 11201 | 代理人: | 赵天月 |
地址: | 214000 江苏*** | 国省代码: | 江苏;32 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 薄膜 太阳能电池 及其 制备 方法 | ||
1.一种薄膜太阳能电池,其特征在于,包括依次层叠设置的透明电极、钙钛矿吸光层、空穴传输层和金属电极,其中,所述金属电极中具有多个间隔设置的开口,所述开口贯穿所述金属电极且所述开口的底部延伸至所述空穴传输层中。
2.一种薄膜太阳能电池,其特征在于,包括依次层叠设置的透明电极、钙钛矿吸光层、空穴传输层、透明缓冲层和金属电极,其中,所述金属电极中具有多个间隔设置的开口,所述开口贯穿所述金属电极且所述开口的底部延伸至所述透明缓冲层中。
3.根据权利要求1或2所述的薄膜太阳能电池,其特征在于,所述开口的形状包括圆形、规则多边形或不规则多边形中的至少一种。
4.根据权利要求1或2所述的薄膜太阳能电池,其特征在于,所述金属电极中,所述开口的面积与所述金属电极的总面积的比大于0.3且小于0.9。
5.根据权利要求1所述的薄膜太阳能电池,其特征在于,所述空穴传输层满足以下条件的至少之一:
材质为有机材料;
为单层结构或多层结构;
折射率为1.6~2;
所述开口底部的所述空穴传输层的厚度为10nm~100nm。
6.根据权利要求2所述的薄膜太阳能电池,其特征在于,所述透明缓冲层满足以下条件的至少之一:
材质包括氧化铟锡、铟锌氧化物、钨掺杂氧化铟、氢化氧化铟、铝掺杂氧化锌和氟掺杂氧化锡中的至少一种;
所述开口底部的所述透明缓冲层的厚度为10nm~50nm。
7.一种制备权利要求1、3、4和5中任一项所述的薄膜太阳能电池的方法,其特征在于,包括在透明基板上依次形成透明电极、钙钛矿吸光层、空穴传输层和金属电极,其中,所述金属电极中具有多个间隔设置的开口,所述开口贯穿所述金属电极且所述开口的底部延伸至所述空穴传输层中。
8.根据权利要求7所述的方法,其特征在于,形成所述空穴传输层和所述金属电极的步骤包括:
在所述钙钛矿吸光层远离所述透明电极的表面上依次形成整层传输层和整层金属层;
利用激光在所述整层金属层和所述整层传输层中形成所述开口,得到所述空穴传输层和所述金属电极。
9.根据权利要求8所述的方法,其特征在于,所述整层金属层是通过物理气相沉积方法形成的,所述物理气相沉积方法包括溅射法、蒸发法和原子层沉积法中的至少一种。
10.一种制备权利要求2-4和6中任一项所述的薄膜太阳能电池的方法,其特征在于,包括在透明基板上依次形成透明电极、钙钛矿吸光层、空穴传输层、透明缓冲层和金属电极,其中,所述金属电极中具有多个间隔设置的开口,所述开口贯穿所述金属电极且所述开口的底部延伸至所述透明缓冲层中。
11.根据权利要求10所述的方法,其特征在于,形成所述透明缓冲层和所述金属电极的步骤包括:
在所述空穴传输层远离所述透明电极的表面上依次形成整层缓冲层和整层金属层;
利用激光在所述整层金属层和所述整层缓冲层中形成所述开口,得到所述透明缓冲层和所述金属电极。
12.根据权利要求11所述的方法,其特征在于,所述整层金属层是通过物理气相沉积方法形成的,所述物理气相沉积方法包括溅射法、蒸发法和原子层沉积法中的至少一种。
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