[发明专利]全息光栅自准直实时监测显影截止点的装置

权利要求书

1.一种全息光栅自准直实时监测显影截止点的装置，其特征在于，该装置包括：

显影罐；

光栅固定机构，设于所述显影罐内，所述光栅固定机构用于将潜像光栅固定于所述显影罐内；

支撑机构；

激光器，可转动地安装于支撑机构上，所述激光器用于发射第一激光束以照射所述潜像光栅；

光电接收器，用于接收经所述潜像光栅衍射形成的第二激光束；

俯仰调节机构，安装在所述支撑机构和所述激光器之间，用于使所述激光器相对于所述支撑机构转动以调整所述第一激光束的俯仰；以及

监测机构，用于根据所述第二激光束的能量变化对显影截止点进行实时监测。

2.根据权利要求1所述的全息光栅自准直实时监测显影截止点的装置，其特征在于，所述光电接收器可拆卸地安装于所述支撑机构上。

3.根据权利要求1所述的全息光栅自准直实时监测显影截止点的装置，其特征在于，该装置还包括设于所述支撑机构和所述显影罐之间的连接机构，所述连接机构的一端设于所述支撑机构底部，所述连接机构的另一端与所述显影罐的罐底相抵。

4.根据权利要求3所述的全息光栅自准直实时监测显影截止点的装置，其特征在于，该装置还包括设于所述连接机构和所述显影罐之间的自准直角度调节机构，用于使所述支撑机构相对于所述显影罐的罐底中心旋转以调整所述激光器的出射光束与所述潜像光栅之间的角度。

5.根据权利要求1所述的全息光栅自准直实时监测显影截止点的装置，其特征在于，所述光栅固定机构包括在竖直平面内布设的滑轨以及与所述滑轨滑动配合用于固定潜像光栅的滑块。

6.根据权利要求5所述的全息光栅自准直实时监测显影截止点的装置，其特征在于，所述滑块的顶部设有提拉结构，用于将置于显影液中的滑块进行提拉。

7.根据权利要求1所述的全息光栅自准直实时监测显影截止点的装置，其特征在于，所述监测机构包括：

数据处理模块，用于根据光电接收器的输出值绘制所述第二激光束能量随时间变化绘制显影监测曲线；

显示器，用于显示所述显影监测曲线。

8.根据权利要求7所述的全息光栅自准直实时监测显影截止点的装置，其特征在于，所述监测机构还包括：

信号转换模块，用于将光电接收器的电信号进行模数转换并将转换结果输出至所述数据处理模块；

截止点确定模块，用于根据所述显影监测曲线确定显影截止点。

9.根据权利要求1所述的全息光栅自准直实时监测显影截止点的装置，其特征在于，所述光电接收器为功率计；

和/或，所述显影罐为透明圆柱体罐；

和/或，所述激光器为He-Ne激光器，所述激光器发出的激光的波长为632.8nm。

10.根据权利要求1所述的全息光栅自准直实时监测显影截止点的装置，其特征在于，所述光栅固定机构由聚四氟乙烯材料制成。