[发明专利]基板分割装置

说明书

基板分割装置(1)具有带式输送装置(3)、第一切断杆(11)、垫板(21)。带式输送装置对在主体(106a、106b)与端部材料(107a、107b)之间形成有端部刻划线(S1、S2)的基板(100)进行输送。第一切断杆配置于带式输送装置的上方，通过下降而冲击基板来分割端部刻划线。垫板在与基板的端部材料对应的位置抵接或接近地配置在带式输送装置的上侧输送部(3a)的下表面，从而在基板的下方确保间隙(29)。通过在垫板的基板的主体侧的端面(25a)形成有与交叉刻划线(S3、S4)对应的缺口，避免在分割交叉刻划线时垫板与第二切断杆(11)发生缓冲。高精度地进行带式输送机上的基板的端部材料的分割。

技术领域

本发明涉及基板分割装置，特别涉及将基板的端部材料从主体进行分割的基板分割装置。

背景技术

通常在液晶面板的制造工序中，制造将成为制造单元的多个单元显示面板(单元基板)图案化了的大面积的贴合玻璃基板(母基板)，接着按每个单元显示面板将其分割。具体而言，使用上下一对刀轮从上下方向在两面同时对母基板进行刻划，接着通过在两面同时进行分离，从而按每个单元显示面板进行分割。在单元显示面板彼此之间设置有额外的部分，这些在分割后成为端部材料。

作为端部材料的处理，已知有使用卡盘(chuck)构件对端部材料进行抓持，并使卡盘向分离的方向移动从而使端部材料下落到设置在下方的端部材料收集容器的方法(例如，参照专利文献1)。

现有技术文献

专利文献

专利文献1：国际公开第2002/057192号。

发明要解决的课题

近年来，盛行在带式输送机上分割基板。但是，如果在分割端部材料时切断杆冲击到基板，则导致基板与带一起弯曲，因此可以认为端部刻划线(在基板的主体(单元基板)与端部材料之间形成的刻划线)的分割精度降低。

然而，在现有技术中没有提出用于解决这样的问题的技术。

发明内容

本发明的目的在于高精度地进行带式输送机上的基板的端部材料的分割。

用于解决课题的方案

以下，作为用于解决问题的手段，对多种方式进行说明。这些方式能够根据需要进行任意地组合。

本发明的一个观点涉及的基板分割装置具有带式输送装置、第一切断杆以及垫板。

带式输送装置对在主体与端部材料之间形成有端部刻划线、且形成有与所述端部刻划线交叉的交叉刻划线的基板进行输送。

第一切断杆配置于所述带式输送装置的上方，通过向所述基板施加冲击力来对所述端部刻划线进行分割。

垫板在与所述基板的端部材料对应的位置处，沿着所述端部刻划线抵接或接近地配置在所述带式输送装置的上侧输送部的下表面，从而在所述基板的下方确保间隙。通过在垫板的基板的主体侧的端面形成有与交叉刻划线对应的缺口，避免在对交叉刻划线进行分割时垫板与第一切断杆发生缓冲。

在该装置中，由于通过垫板在带式输送装置的上侧输送部的下方确保间隙，所以当第一切断杆向在带式输送装置上配置的基板施加冲击力时，在端部刻划线的周边产生大的应力，其结果是，端部刻划线被高精度地分割。

在该装置中，也可以具有用于对交叉刻划线进行分割的第二切断杆。此外，也可以使得第一切断杆在水平面内旋转，也作为第二切断杆发挥作用。在该装置中，由于在对交叉刻划线进行分割时第二切断杆抵接于基板的与垫板的缺口对应的位置，该垫板配置在与基板的端部材料对应的位置，所以能够避免由于切断杆与垫板的缓冲而产生的分割不良的情况。