[发明专利]一种靶材的制备方法

权利要求书

1.一种靶材的制备方法，其特征在于，包括如下步骤：

将粉末填充到模具中，通过振动使粉末在模具内填充密实；

对填充密实后的粉末层进行热等静压烧结，然后进行后处理，得到所述靶材。

2.根据权利要求1所述的制备方法，其特征在于，所述填充密实后的粉末层的堆积密度为3.5-4.5g/cm³。

3.根据权利要求1所述的制备方法，其特征在于，所述振动包括旋转和震动。

4.根据权利要求1所述的制备方法，其特征在于，所述粉末为铜粉、铟粉和镓粉的混合粉末；所述靶材为旋转靶材。

5.根据权利要求1所述的制备方法，其特征在于，所述热等静压烧结的温度为450-650℃，和/或所述热等静压烧结的压力为80-150MPa，和/或所述热等静压烧结的时间1-3h。

6.根据权利要求1所述的制备方法，其特征在于，所述振动通过以下方式实现：将填充有粉末的所述模具安装在旋转震动底座上，通过所述旋转震动底座来带动所述模具中的粉末振动。

7.根据权利要求1所述的制备方法，其特征在于，所述模具包括：

筒体；

衬管，所述衬管设于所述筒体内部，且与所述筒体的底板相配合；所述衬管与所述筒体形成环状空间，所述环状空间用于容纳所述粉末；

盖板，所述盖板固定于所述筒体的上方，用于密封所述环状空间。

8.根据权利要求7所述的制备方法，其特征在于，所述筒体的底板具有与旋转震动底座相配合的定位部件；和/或，所述模具还包括实心轴，所述实心轴以可拆卸的方式内套于所述衬管内，且所述实心轴的外壁与所述衬管的内壁相贴合；可选地，所述实心轴为石墨实心轴。

9.根据权利要求7或8所述的制备方法，其特征在于，所述将粉末填充到模具中的步骤包括：将所述粉末加入到所述模具的环状空间内，然后使用所述盖板将所述环状空间封闭。

10.根据权利要求1-9中任一项所述的制备方法，其特征在于，所述后处理包括降温工序和机加工工序。