[发明专利]一种背电极结构、太阳能电池及其制备方法

权利要求书

1.一种用于太阳能电池的背电极结构，其特征在于，包括：层叠设置的背电极膜层(21)和钝化层(23)；

所述钝化层(23)上形成有多个第一贯穿孔(231)，所述第一贯穿孔(231)贯穿所述钝化层(23)。

2.根据权利要求1所述的背电极结构，其特征在于，

所述背电极膜层(21)在与所述第一贯穿孔(231)的对应位置，形成有接触坑(211)或贯穿所述背电极膜层(21)的接触孔(212)。

3.根据权利要求1或2所述的背电极结构，其特征在于，还包括：

反射层(22)，其设置在所述背电极膜层(21)和所述钝化层(23)之间；

所述反射层(22)在与所述第一贯穿孔(231)的对应位置形成第二贯穿孔(221)。

4.根据权利要求1所述的背电极结构，其特征在于，

所述第一贯穿孔(231)的横截面为圆形，所述第一贯穿孔(231)的直径范围为5-30μm；和/或

相邻两个所述第一贯穿孔(231)的边缘之间的距离范围为5-20μm。

5.根据权利要求1、2或4所述的背电极结构，其特征在于，

所述背电极膜层(21)的材料为钼，厚度为200-800nm；和/或

所述反射层(22)的材料为铝，所述钝化层(23)的材料为氧化铝，所述反射层(22)与所述钝化层(23)的厚度之和为20-50nm，其中，所述钝化层(23)的厚度为20-40nm。

6.一种太阳能电池，其特征在于，包括权利要求1-5中任意一项所述的背电极结构(2)，还包括：

吸收层(3)，其位于所述背电极结构(2)之上；

所述吸收层(3)通过多个第一贯穿孔(231)与背电极膜层(21)电接触。

7.根据权利要求6所述的太阳能电池，其特征在于，

所述吸收层(3)的一侧形成有多个与所述第一贯穿孔(231)形状相匹配的凸起部(31)；

所述凸起部(31)穿过所述第一贯穿孔(231)，所述凸起部(31)的顶部和/或侧壁与所述背电极膜层(21)电接触。

8.根据权利要求6或7所述的太阳能电池，其特征在于，

所述吸收层(3)为CIGS薄膜，厚度为300-800nm。

9.一种太阳能电池的制备方法，其特征在于，包括：

在衬底(1)上形成背电极膜层(21)和钝化层(23)；

在所述钝化层(23)上形成多个第一贯穿孔(231)。

10.根据权利要求9所述的太阳能电池的制备方法，其特征在于，在形成背电极膜层(21)之后，在形成钝化层(23)之前，还包括：

在所述背电极膜层(21)上形成反射层(22)；

在所述钝化层(23)上形成有多个第一贯穿孔(231)的同时，还在所述反射层(22)与所述第一贯穿孔(231)的对应位置形成第二贯穿孔(221)。

11.根据权利要求9所述的太阳能电池的制备方法，其特征在于，还包括：

在所述钝化层(23)的表面形成吸收层(3)；

在所述吸收层(3)的表面进行包括依次形成的缓冲层(4)、本征层(5)和电极层(6)的工序，得到所述太阳能电池。