[发明专利]一种用于低温光谱仪焦面装调的装置在审
| 申请号： | 201811621242.7 | 申请日： | 2018-12-28 |
| 公开（公告）号： | CN109612582A | 公开（公告）日： | 2019-04-12 |
| 发明（设计）人： | 韦跃峰;蔺超;刘磊;王龙;郑玉权 | 申请（专利权）人： | 中国科学院长春光学精密机械与物理研究所 |
| 主分类号： | G01J3/28 | 分类号： | G01J3/28;G01J3/02 |
| 代理公司： | 长春众邦菁华知识产权代理有限公司 22214 | 代理人： | 张伟 |
| 地址： | 130033 吉*** | 国省代码： | 吉林;22 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 位移平台 光谱仪 焦面 基板 装调 光谱检测技术 安装探测器 低温条件 调焦装置 基板上部 布设 传感器 促动器 体积小 重合 探测器 散焦 转动 监测 | ||
1.一种用于低温光谱仪焦面装调的装置，其特征在于，包括：
基板(1)，用于安装在光谱仪框架(200)上；
位移平台(2)，用于安装探测器(100)、并调整所述探测器(100)的焦面与光谱仪的散焦平面重合，所述位移平台(2)布设在所述基板(1)上部；
所述位移平台(2)安装有多个用于调整所述位移平台(2)沿Z轴、X轴和Y轴位移、以及沿X轴、Y轴转动的促动器；
所述位移平台(2)在Z轴方向上布设有多个用于监测所述位移平台(2)与所述基板(1)之间间距的传感器(4)。
2.根据权利要求1所述的一种用于低温光谱仪焦面装调的装置，其特征在于，所述位移平台(2)在XY平面的中部形成有光路能够通过的通道(201)，所述位移平台(2)上表面通过螺栓组件连接在所述基板(1)上部；
所述位移平台(2)的上部XY平面上布设有至少三个所述促动器，用于调整所述位移平台(2)沿Z轴位移、以及沿X轴和Y轴转动；
所述位移平台(2)的侧部XZ平面布设有至少一个所述促动器，用于调整所述位移平台(2)沿Y轴位移；
所述位移平台(2)的侧部YZ平面布设有至少一个所述促动器用于调整所述位移平台(2)沿X轴位移。
3.根据权利要求2所述的一种用于低温光谱仪焦面装调的装置，其特征在于，所述基板(1)在XY平面的中部开有光路能够通过的豁口(104)，所述基板(1)在XY平面的上表面形成有多个凹槽，且凹槽的结构分别为锥形结构、V型结构和平面结构。
4.根据权利要求3所述的一种用于低温光谱仪焦面装调的装置，其特征在于，所述促动器为线性促动器，其具有球形端面与所述凹槽接触。
5.根据权利要求2-4任意一项所述的一种用于低温光谱仪焦面装调的装置，其特征在于，所述螺栓组件包括弹簧(6)和螺钉(7)；
所述弹簧(6)为圆锥螺旋结构的压缩弹簧；
所述螺钉(7)贯穿所述位移平台(2)、并与所述基板(1)螺纹连接。
6.根据权利要求5所述的一种用于低温光谱仪焦面装调的装置，其特征在于，所述位移平台(2)开有与所述螺钉(7)间隙配合的通孔。
7.根据权利要求1所述的一种用于低温光谱仪焦面装调的装置，其特征在于，所述传感器(4)为光纤位移传感器，所述传感器(4)通过夹持座(5)固连在所述位移平台(2)的XY平面地上表面。
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