[发明专利]用于半球壳状工件镀膜的工件转架及镀膜机

说明书

本发明公开了用于半球壳状工件镀膜的工件转架及镀膜机，工件转架安装在镀膜机内，工件转架包括主固定盘、主转盘、副固定盘、副转盘、第一绝缘支撑机构、第二绝缘支撑机构、传动机构和油缸组件，主转盘转动支承在主固定盘的上面，副转盘转动支承在副固定盘的上面，第一绝缘支撑机构安装在主转盘上，第二绝缘支撑机构安装在副转盘上，传动机构与外部的动力装置连接，以同时带动主转盘和副转盘转动，油缸组件的活塞杆与副固定盘连接，通过油缸带动副固定盘升降，以实现第一绝缘支撑机构和第二绝缘支撑机构交替支撑工件，本发明的镀膜机设有上边圆型阴极电弧源、下边圆型阴极电弧源和侧边圆型阴极电弧源，以实现了对半球壳状工件的进行全方位镀膜。

技术领域

本发明涉及一种用于半球壳状工件镀膜的工件转架，还涉及一种包含有所述工件转架并用于对半球壳状工件进行镀膜的镀膜机。

背景技术

根据需求，现需对半球壳状工件进行镀膜，半球壳状工件的外形为厚壁半球冠状，且尺寸较大，为一种特殊的工件，要求对其内表面、外表面、半球冠的端口表面都要实施离子镀膜。

历年来，这种半球壳状工件在离子镀膜行业都未出现过，因而没有现成的合适的离子镀膜机和工件转架可以借鉴，需要按工件镀膜部位的要求，设计全新靶位布局的离子镀膜机及全新的工件转架机构。

发明内容

本发明所要解决的第一个技术问题，就是提供一种用于半球壳状工件镀膜的工件转架。

本发明所要解决的第二个技术问题，就是提供一种包含有所述工件转架并用于对半球壳状工件进行镀膜的镀膜机。

本发明实现了对半球壳状工件的进行全面镀膜。

解决上述第一个技术问题，本发明采用如下的技术方案：

一种用于半球壳状工件镀膜的工件转架，其特征是包括：

主固定盘，水平固定安装在镀膜机的镀膜室内；

主转盘，转动支承在主固定盘的上面；

副固定盘，水平设置在主转盘的上方，且可升降；

副转盘，转动支承在副固定盘的上面；

第一绝缘支撑机构，安装在主转盘上，用于支撑工件；

第二绝缘支撑机构，安装在副转盘上，也用于支撑工件，且工件的与第二绝缘支撑机构接触的支撑位置和工件的与第一绝缘支撑机构接触的支撑位置相互错开；

传动机构，与外部的动力装置连接，以同时带动主转盘和副转盘转动；

油缸组件，其活塞杆与副固定盘连接；通过油缸带动副固定盘升降，以实现第一绝缘支撑机构和第二绝缘支撑机构交替支撑工件。

所述第一绝缘支撑机构包括至少三组第一绝缘支撑组件，第一绝缘支撑组件分别安装在主转盘上，并按圆周方向均匀分布，第一绝缘支撑组件包括第一支撑杆和用于支撑工件的第一支撑板，副转盘上对应第一支撑杆开有支撑杆穿孔，第一支撑杆活动穿过支撑杆穿孔，第一支撑杆的下端绝缘固定在主转盘上，第一支撑板固定在第一支撑杆的上端。

所述第二绝缘支撑机构包括至少三组第二绝缘支撑组件，第二绝缘支撑组件分别安装在副转盘上，并按圆周方向均匀分布，第二绝缘支撑组件包括第二支撑杆和用于支撑工件的第二支撑板，第二支撑杆的下端绝缘固定在副转盘上，第二支撑板固定在第二支撑杆的上端。