[发明专利]一种扫描电镜下的超高温断裂原位观测装置

权利要求书

1.一种扫描电镜下的超高温断裂原位观测装置，其特征在于，包括微型机械加载系统(1)和高温环境模块(2)；其中，

微型机械加载系统(1)包括微型电机及传动装置基座(1-1)，高温模块及传动模块基座(1-10)，微型力传感器和短距高精度激光位移传感器，以及设置在微型电机及传动装置基座(1-1)上的微型电机(1-2)和传动装置，高温模块及传动模块基座(1-10)与微型电机及传动装置基座(1-1)在同一平面上安装在一起；

高温环境模块(2)包括设置在高温模块及传动模块基座(1-10)上的高温加载模块隔热外壳(2-1)，高温加载模块隔热外壳(2-1)内用于设置被测试样，且高温加载模块隔热外壳(2-1)内还设置有用于对被测试样进行超高温加热的加热装置；使用状态时，微型机械加载系统(1)中的传动装置与被测试样相连，并通过微型电机(1-2)带动传动装置用于对高温加载模块隔热外壳(2-1)中的被测试样进行拉伸。

2.根据权利要求1所述的一种扫描电镜下的超高温断裂原位观测装置，其特征在于，传动装置包括与微型电机(1-2)的输出轴相连的第一齿轮(1-3)，设置在微型电机及传动装置基座(1-1)上且与微型电机(1-2)的输出轴平行设置的传动丝杠(1-5)，传动丝杠(1-5)的一个端头设置有与第一齿轮(1-3)外啮合的第二齿轮(1-12)；

高温模块及传动模块基座(1-10)的一端通过固定压头夹持端(1-7)与微型电机及传动装置基座(1-1)安装在一起，另一端开设有移动压头运动导向槽(1-11)，移动压头运动导向槽(1-11)内设置有能够沿其移动的移动压头夹持端(1-8)，高温加载模块隔热外壳(2-1)位于固定压头夹持端(1-7)与移动压头夹持端(1-8)之间；

传动装置还包括拉伸丝杠，拉伸丝杠在垂直于传动丝杠(1-5)的方向设置，且拉伸丝杠的一端设置有传动齿轮，传动齿轮与传动丝杠(1-5)外啮合，拉伸丝杠的一端穿过固定压头夹持端(1-7)与移动压头夹持端(1-8)之间螺纹连接。

3.根据权利要求2所述的一种扫描电镜下的超高温断裂原位观测装置，其特征在于，传动装置中包括两个传动齿轮和两个拉伸丝杠，两个拉伸丝杠为平行设置的第一传动丝杠(1-6)和第二拉伸丝杠(1-15)，第一传动丝杠(1-6)的一端和第二拉伸丝杠(1-15)的一端分别通过第一传动齿轮(1-13)和第二传动齿轮(1-14)与传动丝杠(1-5)外啮合，两个拉伸丝杠的另一端均固定压头夹持端(1-7)与移动压头夹持端(1-8)之间螺纹连接。

4.根据权利要求2所述的一种扫描电镜下的超高温断裂原位观测装置，其特征在于，传动装置中还包括两个高温陶瓷加载轴(1-9)，两个高温陶瓷加载轴(1-9)穿过高温加载模块隔热外壳(2-1)分别与固定压头夹持端(1-7)和移动压头夹持端(1-8)固定连接，两个高温陶瓷加载轴(1-9)之间用于固定被测试样。

5.根据权利要求2所述的一种扫描电镜下的超高温断裂原位观测装置，其特征在于，传动装置中还包括设置在微型电机及传动装置基座(1-1)上，用于支撑微型电机(1-2)的输出轴以及传动丝杠(1-5)两端的固定轴承(1-4)。

6.根据权利要求1所述的一种扫描电镜下的超高温断裂原位观测装置，其特征在于，高温环境模块(2)中的加热装置为多个平行设置的卤素加热灯管(2-2)，多个卤素加热灯管(2-2)的轴向上包裹有椭球形凹面反射镜(2-3)。

7.根据权利要求6所述的一种扫描电镜下的超高温断裂原位观测装置，其特征在于，多个卤素加热灯管(2-2)均通过金属支架(2-9)固定在高温加载模块隔热外壳(2-1)内。

8.根据权利要求6所述的一种扫描电镜下的超高温断裂原位观测装置，其特征在于，高温加载模块隔热外壳(2-1)的外侧还布置有循环水冷导管(2-6)，且循环水冷导管(2-6)与外置循环冷水机(2-7)组成水循环。