[发明专利]工业用机器人

说明书

本发明提供一种工业用机器人，其具备臂和可升降地保持臂的本体部，可以防止臂下降时的、尘埃从本体部的内部向臂侧的流出。该工业用机器人的本体部(5)具备连结臂的升降体(10)、收容升降体(10)的至少一部分的框体(11)、用于排出框体(11)内部的气体的排气扇(13)，在框体11上形成有排气孔(15a)。在该工业用机器人中，将升降体(10)的、与上下方向正交的截面中由升降体(10)的外形限定的面积作为升降体截面积，且将在上下方向上的升降体(10)的整个区域中成为最大的升降体截面积作为最大截面积时，升降体(10)下降时的排气扇(13)的每单位时间的排气量(m³/秒)大于最大截面积(m²)和升降体(10)的下降速度(米/秒)的乘积。

技术领域

本发明涉及具备臂和可升降地保持臂的本体部的工业用机器人。

背景技术

目前，已知有搬运半导体晶圆等搬运对象物的水平多关节型机器人(机械臂装置)(例如，参照专利文献1)。专利文献1所记载的机器人具备臂和支承臂的基台。基台具备基台本体部、支承臂的基端部并且相对于基台本体部可升降的升降部、使升降部升降的升降机构。在基台本体部的顶壁上，形成有用于容许升降部的升降动作的开口部。在开口部的边缘和升降体的外周面之间形成有间隙。

在专利文献1记载的机器人中，在基台本体部的底壁形成有在上下方向上贯通底壁的两个排气口。具体而言，在相对于基台本体部的左右方向的中心左右对称的位置分别形成有排气口。在各排气口的上侧，安装有用于将基台本体部的内部空间的空气排出到基台的外部的排气扇。即，在相对于基台本体部的左右方向的中心左右对称的位置，分别配置有排气扇。因此，在该机器人中，基台本体部的内部空间的空气更容易在基台本体部的内部的左侧区域和右侧区域均等地流动。

因此，在专利文献1所记载的机器人中，一部分被收容在基台本体部的内部的升降部上升时，伴随升降部的上升动作而暂时向上流动的基台本体部的内部空间的空气立即向下流动。因此，在该机器人中，能够防止在升降部上升动作时，在基台本体部的内部产生的尘埃从形成于顶壁的开口部的边缘和升降体的外周面之间的间隙流出到基台的外部，其结果是，能够防止在基台本体部的内部产生的尘埃附着在搬运对象物上。

现有技术文献

专利文献

专利文献1：日本特开2012－56033号公报

发明内容

发明所要解决的技术问题

在专利文献1所记载的机器人中，在升降部下降时，升降部的大半部分被收容于基台本体部，因此，基台本体部的内部空间变窄。另一方面，在升降部上升时，在基台本体部的内部的、升降部的下侧形成大的空间。即，在升降部上升时，基台本体部的内部空间扩大。因此，在专利文献1所记载的机器人中，与在升降部上升时从基台本体部的内部空间排出的空气的量相比，在升降部下降时从基台本体部的内部空间排出的空气的量增多。

因此，在专利文献1所记载的机器人中，与升降部上升时相比，在升降部下降时，在基台本体部的内部产生的尘埃从顶壁的开口部的边缘和升降体的外周面之间的间隙流出到基台的外部的可能性增加。即，在该机器人中，与臂上升时相比，臂下降时，在基台本体部的内部产生的尘埃流出到基台的外部的臂侧的可能性增加。

但是，在专利文献1记载的机器人中，虽然已经考虑了在升降部上升时(即，臂上升时)，防止在基台本体部的内部产生的尘埃从顶壁的开口部的边缘和升降体的外周面之间的间隙流出到基台的外部的技术，但没有考虑在臂下降时，防止在基台本体部的内部产生的尘埃从顶壁的开口部的边缘和升降体的外周面之间的间隙流出到基台的外部的技术。

因此，本发明的技术问题在于提供一种工业用机器人，其具备臂和可升降地保持臂的本体部，可以防止臂下降时的、尘埃从本体部内部向臂侧的流出。

解决问题所采用的技术方案