[发明专利]测量坐标校正方法和系统有效
| 申请号: | 201811605002.8 | 申请日: | 2018-12-26 |
| 公开(公告)号: | CN109579703B | 公开(公告)日: | 2020-06-16 |
| 发明(设计)人: | 方杰 | 申请(专利权)人: | 深圳市华星光电半导体显示技术有限公司 |
| 主分类号: | G01B11/00 | 分类号: | G01B11/00 |
| 代理公司: | 深圳翼盛智成知识产权事务所(普通合伙) 44300 | 代理人: | 黄威 |
| 地址: | 518132 广东省深*** | 国省代码: | 广东;44 |
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| 摘要: | |||
| 搜索关键词: | 测量 坐标 校正 方法 系统 | ||
1.一种测量坐标校正方法,其特征在于,所述方法包括:获取测量系统的物理测量模块对应的测试区域的测量范围和所述测量范围几何中心的坐标,其中,所述测量范围和所述测量范围几何中心的坐标为预先设置好并存储在所述测量系统中;
将光学镜头的几何中心坐标与所述物理测量模块的测量范围的几何中心坐标进行对比,看二者是否重合;如不重合,则调整所述光学镜头的位置,直至所述光学镜头的几何中心坐标与所述物理测量模块的测量范围的几何中心坐标重合;
采用校正后的所述光学镜头获取待测量对象的几何中心坐标;
将所述测量对象的坐标与所述物理测量模块的测量范围进行比较;
当所述测量对象的至少部分坐标处于所述物理测量模块的测量范围之外时,调整所述测量对象的位置,再重新进行比较;
当所述测量对象的坐标处于所述物理测量模块的测量范围中时,执行物理测量。
2.根据权利要求1所述的测量坐标校正方法,其特征在于,判断所述光学镜头的几何中心坐标与所述物理测量模块的测量范围的几何中心坐标是否重合的方法为:
获取所述物理测量模块的测量范围的几何中心坐标(x0,y0);获取所述光学镜头的几何中心坐标(x1,y1);计算所述光学镜头的几何中心坐标与所述物理测量模块的测量范围的几何中心坐标之间的距离,计算方法为:Δ=(x1-x0)2+(y1-y0)2;若Δ为0,则说明所述光学镜头的几何中心坐标与所述物理测量模块的测量范围的几何中心坐标重合,否则不重合。
3.根据权利要求1所述的测量坐标校正方法,其特征在于,所述测量系统同时具有影像式测量单元和接触式测量单元,其中所述影像式测量单元包括光学镜头,所述接触式测量单元包括物理测量模块。
4.根据权利要求3所述的测量坐标校正方法,其特征在于,所述物理测量模块为探针测量模块。
5.一种测量坐标校正系统,其特征在于,所述系统包括:
第一数据获取单元,用于获取测量系统的物理测量模块对应的测试区域的测量范围和所述测量范围几何中心的坐标,其中,所述测量范围和所述测量范围几何中心的坐标为预先设置好并存储在所述测量系统中;
校正单元,用于将光学镜头的几何中心坐标与所述物理测量模块的测量范围的几何中心坐标进行对比,看二者是否重合;如不重合,则调整所述光学镜头的位置,直至所述光学镜头的几何中心坐标与所述物理测量模块的测量范围的几何中心坐标重合;第二数据获取单元,用于采用校正后的所述光学镜头获取待测量对象的几何中心的坐标;
比较单元,用于将所述测量对象的坐标与所述物理测量模块的测量范围进行比较;
调整单元,用于当所述测量对象的至少部分坐标处于所述物理测量模块的测量范围之外时,调整所述测量对象的位置,再重新进行比较;
执行单元,用于当所述测量对象的坐标处于所述物理测量模块的测量范围中时,执行物理测量。
6.根据权利要求5所述的测量坐标校正系统,其特征在于,所述校正单元判断所述光学镜头的几何中心坐标与所述物理测量模块的测量范围的几何中心坐标是否重合的方法为:
获取所述物理测量模块的测量范围的几何中心坐标(x0,y0);获取所述光学镜头的几何中心坐标(x1,y1);计算所述光学镜头的几何中心坐标与所述物理测量模块的测量范围的几何中心坐标之间的距离,计算方法为:Δ=(x1-x0)2+(y1-y0)2;
若Δ为0,则说明所述光学镜头的几何中心坐标与所述物理测量模块的测量范围的几何中心坐标重合,否则不重合。
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