[发明专利]制造显示装置的方法有效
申请号: | 201811602197.0 | 申请日: | 2018-12-26 |
公开(公告)号: | CN110034245B | 公开(公告)日: | 2023-04-11 |
发明(设计)人: | 柳仁卿;张宗燮;梁东炫 | 申请(专利权)人: | 三星显示有限公司 |
主分类号: | H10K71/00 | 分类号: | H10K71/00;H10K71/20;H10K71/60 |
代理公司: | 北京钲霖知识产权代理有限公司 11722 | 代理人: | 李强;王淑玲 |
地址: | 韩国京畿*** | 国省代码: | 暂无信息 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 制造 显示装置 方法 | ||
本发明涉及一种制造显示装置的方法,所述方法包括提供包括第一台阶部分的基底,在所述基底和所述第一台阶部分上形成金属层,在所述金属层上在与所述台阶部分的侧壁对应的位置处形成有机层图案,在所述金属层和所述有机层图案上形成光敏层,对所述光敏层进行图案化以形成与所述有机层图案相邻的光敏层图案,以及通过经由使用所述光敏层图案作为掩模的蚀刻工艺去除所述有机层图案和所述金属层的暴露部分来形成金属线。
本申请要求于2017年12月27日提交的第10-2017-0181007号韩国专利申请的优先权,其公开内容通过引用整体并入本文。
技术领域
本发明构思的示例性实施例涉及一种制造显示装置的方法,并且更具体地涉及一种制造包括以精细间隔布置的多层线的显示装置的方法。
背景技术
诸如液晶显示(LCD)装置和有机发光二极管(OLED)显示装置的平板显示装置相对薄且重量轻。因此,所述平板显示装置的应用范围正在扩大。
最近,为了满足用户的期望,更薄且更高分辨率的平板显示器已在开发中。
发明内容
本发明提供一种制造显示装置的方法,其中,能令人满意地实现具有精细宽度的线,而不增加制造工艺的数量或生产成本。
根据本发明构思的示例性实施例,一种制造显示装置的方法,包括提供包括第一台阶部分的基底,在所述基底和所述第一台阶部分上形成金属层,在所述金属层上在与所述第一台阶部分的侧壁对应的位置处形成有机层图案,在所述金属层和所述有机层图案上形成光敏层,对所述光敏层进行图案化以形成与所述有机层图案相邻的光敏层图案,以及通过经由使用所述光敏层图案作为掩模的蚀刻工艺去除所述有机层图案和所述金属层的暴露部分来形成金属线。
在本发明构思的示例性实施例中,所述第一台阶部分具有约或更高的高度。
在本发明构思的示例性实施例中,该方法还包括在所述基底和所述第一台阶部分上形成绝缘层,以及在所述绝缘层上形成金属层。
在本发明构思的示例性实施例中,所述有机层图案包括有色染料或颜料。
在本发明构思的示例性实施例中,所述有机层图案具有范围从约1%至约30%的反射率。
在本发明构思的示例性实施例中,将所述金属线形成为具有约2μm或更小的宽度。
根据本发明构思的示例性实施例,一种制造显示装置的方法,所述方法包括:提供基底,以及在所述基底上形成多个图案,使得在所述基底的表面上形成多个台阶。每个图案彼此间隔开预定距离。该方法还包括在所述基底和所述多个图案上形成金属层,在所述金属层上在与所述多个图案的侧壁对应的位置处形成多个有机层图案,在所述金属层和所述多个有机层图案上形成光敏层,对所述光敏层进行图案化以在所述多个有机层图案之间形成光敏层图案,并通过经由使用所述光敏层图案作为掩模的蚀刻工艺去除所述有机层图案和所述金属层的暴露部分来形成多条金属线。
在本发明构思的示例性实施例中,所述多个图案中的每个图案具有约或更高的高度,并且所述多个图案之间的预定距离为约5μm或更小。
在本发明构思的示例性实施例中,该方法还包括在所述基底和所述多个图案上形成绝缘层,以及在所述绝缘层上形成金属层。
在本发明构思的示例性实施例中,所述有机层图案包括有色染料或颜料。
在本发明构思的示例性实施例中,所述有机层图案具有范围从约1%至约30%的反射率。
在本发明构思的示例性实施例中,将所述金属线形成为具有约2μm或更小的宽度。
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