[发明专利]一种二自由度微纳定位平台有效
申请号: | 201811599323.1 | 申请日: | 2018-12-26 |
公开(公告)号: | CN109493913B | 公开(公告)日: | 2021-05-11 |
发明(设计)人: | 纪华伟;李天翼 | 申请(专利权)人: | 杭州电子科技大学 |
主分类号: | G12B5/00 | 分类号: | G12B5/00 |
代理公司: | 浙江千克知识产权代理有限公司 33246 | 代理人: | 周希良 |
地址: | 310018 浙江省杭州市*** | 国省代码: | 浙江;33 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 一种 自由度 定位 平台 | ||
1.一种二自由度微纳定位平台,其特征在于:包括基座、运动平台、导向机构、解耦机构、驱动器;所述基座中部设有所述运动平台,所述运动平台四周连接有所述导向机构,所述导向机构又与所述解耦机构连接,所述解耦机构与所述基座连接,放大机构置于所述运动平台和所述解耦机构之间,导向机构罩设于放大机构外侧,放大机构位于运动平台、导向机构和解耦机构中间,所述放大机构与解耦机构连接,所述放大机构内设有驱动器,所述驱动器用于驱动所述运动平台。
2.根据权利要求1所述的一种二自由度微纳定位平台,其特征在于:所述解耦机构设有四组,解耦机构包括中间杆和设于中间杆两端的解耦柔顺构件;所述中间杆与所述放大机构连接;所述解耦柔顺构件与所述基座连接。
3.根据权利要求2所述的一种二自由度微纳定位平台,其特征在于:解耦机构相对于所述运动平台的中心对称分布。
4.根据权利要求1所述的一种二自由度微纳定位平台,其特征在于:所述导向机构有四组,导向机构包括设于两端的导向柔顺构件,所述导向柔顺构件一端与所述运动平台连接,导向柔顺构件的另一端与解耦机构连接。
5.根据权利要求2所述的一种二自由度微纳定位平台,其特征在于:所述导向机构有四组,导向机构包括设于两端的导向柔顺构件,所述导向柔顺构件一端与所述运动平台连接,导向柔顺构件的另一端与中间杆连接。
6.根据权利要求1或2所述的一种二自由度微纳定位平台,其特征在于:所述放大机构设有固定端及输出端,所述固定端设有固定孔,所述输出端与所述解耦机构连接。
7.根据权利要求1所述的一种二自由度微纳定位平台,其特征在于:所述的一种二自由度微纳定位平台采用一体化加工方式。
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