[发明专利]低温泵在审
| 申请号： | 201811597041.8 | 申请日： | 2018-12-26 |
| 公开（公告）号： | CN111365213A | 公开（公告）日： | 2020-07-03 |
| 发明（设计）人： | 林振旺;庄尚裕 | 申请（专利权）人： | 芯恩（青岛）集成电路有限公司 |
| 主分类号： | F04B37/08 | 分类号： | F04B37/08;F04B39/06 |
| 代理公司： | 上海光华专利事务所(普通合伙) 31219 | 代理人： | 余明伟 |
| 地址： | 266000 山东省青岛市*** | 国省代码： | 山东;37 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 低温泵 | ||
1.一种低温泵，其特征在于，所述低温泵包括：
压缩机，所述压缩机提供冷源；
至少两个冷凝井，所述冷凝井分别与所述压缩机相连接，并与所述压缩机之间形成闭合循环回路；所述冷凝井分别与机台相连接，使得所述机台中的气体在所述冷凝井中降温，以通过所述冷凝井对所述机台进行抽气。
2.根据权利要求1所述的低温泵，其特征在于：所述冷凝井间隔排布，或所述冷凝井之间具有隔热层。
3.根据权利要求1所述的低温泵，其特征在于：所述冷凝井包含制冷机，所述制冷机包括GM制冷机、斯特林制冷机及脉管制冷机中的一种或组合。
4.根据权利要求1所述的低温泵，其特征在于：所述冷凝井包含一级冷头及二级冷头中的一种或组合，所述一级冷头提供的温度范围包括65K～80K，所述二级冷头提供的温度范围包括10K～14K。
5.根据权利要求1所述的低温泵，其特征在于：所述冷凝井包含辐射罩，且所述辐射罩的外表面具有热反射涂层，所述辐射罩的内表面具有热吸收涂层。
6.根根据权利要求1所述的低温泵，其特征在于：所述冷凝井包含冷板，且所述冷板的内表面具有吸附材料，所述吸附材料包括活性炭及分子筛中的一种或组合。
7.根据权利要求1所述的低温泵，其特征在于：所述冷凝井包含温度计，所述温度计包括氢气蒸气压温度计及半导体温度计中的一种或组合。
8.根据权利要求1所述的低温泵，其特征在于：所述气体包括水蒸气、碳氢化合物、二氧化碳、一氧化碳、氧气、氮气、氩气、氢气、氦气及氖气中的一种或组合。
9.根据权利要求1所述的低温泵，其特征在于：所述低温泵还包括再生系统，再生方式包括自然再生、气体冲洗再生及电加热再生中的一种或组合。
10.根据权利要求1所述的低温泵，其特征在于：所述低温泵还包括控制系统，所述控制系统与所述冷凝井及所述压缩机相连接。
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