[发明专利]一种显示面板及其制造方法

权利要求书

1.一种显示面板的制造方法，其特征在于，所述显示面板包括第一基板、液晶层和第二基板，所述第一基板和第二基板相对设置，所述液晶层设置在第一基板和第二基板之间；所述制造方法包括：

在所述第一基板或第二基板上涂布光阻层；

对所述光阻层进行预烘烤；

通过对应的光罩进行曝光；

通过显影洗掉光阻层未曝光区域形成光阻；

通过后烘烤形成光阻图案；

所述光阻图案的起始剂纯度大于96.9%，小于等于99.5%；

其中，光阻图案包括树脂、单体、起始剂和溶剂，所述树脂用于帮助颜料分散及对第一基板和第二基板的衬底的附着，所述单体用于与所述起始剂反应抵抗弱碱溶液侵蚀；所述起始剂用于使单体交联化；所述溶剂用于使光阻图案成为溶液态并决定粘度涂布性质；

所述光阻在显影后形成稳定的倒梯形结构，在经过后烘烤后形成正梯形结构，两侧壁底部不会产生剥离现象。

2.如权利要求1所述的显示面板的制造方法，其特征在于，光阻图案的起始剂纯度大于等于98.6%，小于等于99.5%。

3.如权利要求1所述的显示面板的制造方法，其特征在于，所述通过对应的光罩进行曝光步骤中，曝光能量的范围在20-100mj/cm²之间。

4.如权利要求1所述的显示面板的制造方法，其特征在于，所述通过对应的光罩进行曝光步骤中，曝光间隙的范围在100-500um之间。

5.如权利要求1所述的显示面板的制造方法，其特征在于，所述通过显影洗掉光阻层未曝光区域形成光阻的步骤中，显影时间在30-100s之间。

6.如权利要求1所述的显示面板的制造方法，其特征在于，所述预烘烤温度在70-130℃之间。

7.一种显示面板的制造方法，其特征在于，所述显示面板包括第一基板、液晶层和第二基板，所述第一基板和第二基板相对设置，所述液晶层设置在第一基板和第二基板之间；所述制造方法包括：

在所述第一基板或第二基板上涂布光阻层；

通过对应的光罩进行曝光；

通过显影洗掉光阻层未曝光区域形成光阻；

通过后烘烤形成光阻图案；

所述光阻图案的起始剂纯度大于96.9%，小于等于99.5%；曝光能量的范围在20-100mj/cm²之间；曝光间隙的范围在100-500um之间；显影时间在30-100s之间；预烘烤温度在70-130℃之间；

其中，光阻图案包括树脂、单体、起始剂和溶剂，所述树脂用于帮助颜料分散及对第一基板和第二基板的衬底的附着，单体用于与光起始剂反应抵抗弱碱溶液侵蚀；起始剂用于使单体交联化；溶剂用于使光阻图案成为溶液态并决定粘度涂布性质；

所述光阻在显影后形成稳定的倒梯形结构，在经过后烘烤后形成正梯形结构，两侧壁底部不会产生剥离现象。

8.一种显示面板，其特征在于，所述显示面板采用如权利要求1-7任意一项所述的制造方法制得，所述显示面板包括第一基板、液晶层和第二基板，所述第一基板和第二基板相对设置，所述液晶层设置在第一基板和第二基板之间；所述第一基板或第二基板上设有正梯形结构的光阻图案，所述光阻图案的起始剂纯度大于96.9%，小于等于99.5%；

其中，光阻图案包括树脂、单体、起始剂和溶剂，所述树脂用于帮助颜料分散及对第一基板和第二基板的衬底的附着，单体用于与光起始剂反应抵抗弱碱溶液侵蚀；起始剂用于使单体交联化；溶剂用于使光阻图案成为溶液态并决定粘度涂布性质；

所述光阻在显影后形成稳定的倒梯形结构，在经过后烘烤后形成正梯形结构，两侧壁底部不会产生剥离现象。