[发明专利]一种防止单晶炉取装石墨埚底碰坏加热器的装置及方法

说明书

本发明公开了一种防止单晶炉取装石墨埚底时碰坏加热器的装置及方法。该装置包括由三条臂梁构成的钢架结构、和连接在钢架结构末端的三个钩子；其中，三条臂梁的一端固定在一起，在每根臂梁的另一端分别设有滑动槽；所述钩子具有位于上端的固定部、位于中间的连接杆和位于下端的平头部，滑动槽的外侧端部具有供钩子的连接杆卡入的结合槽；钩子与钢架结构连接时，固定部位于滑动槽内并与之连接，三个钩子的平头部用于勾住石墨埚底的下边缘。通过垂直上下抓取石墨埚底防止过程中碰坏加热器达到安全取装石墨埚底的目的，加强对于主加热器的保护，同时防止对擦炉人员造成不必要的伤害。

技术领域

本发明涉及一种防止单晶炉取装石墨埚底碰坏加热器的装置及方法，属于单晶硅拉制技术领域。

背景技术

单晶硅生产的主流技术是采用直拉生长法。在单晶炉中，石墨埚底用来承载石墨坩埚，石墨埚底的下面用石墨轴来支撑。随着半导体行业的发展，对于晶棒直径的要求也越来越大，就需要更大的热场来匹配。大单晶单晶炉热场较大，主要为28寸及以上，其石墨埚底比较重，而且距离主加热器很近，仅有1.5-2.5cm，在取装过程中，容易碰坏主加热器。

为了防止取装石墨埚底时碰坏主加热器，减少事故发生概率，需要设计用于取装大单晶单晶炉石墨埚底的装置及方法。

发明内容

本发明的目的在于提供一种防止单晶炉取装石墨埚底时碰坏加热器的装置，使用该装置能够快速安全的取装单晶炉中的石墨埚底，防止取装石墨埚底过程中碰坏加热器，加强对于热场主加热器的保护，防止对擦炉人员造成不必要的伤害。

本发明的另一目的在于提供一种采用上述装置取装石墨埚底的方法。

为实现上述目的，本发明采用以下技术方案：

一种防止单晶炉取装石墨埚底时碰坏加热器的装置，该装置包括由三条臂梁构成的钢架结构、和连接在钢架结构末端的三个钩子；其中，三条臂梁的一端固定在一起，在每根臂梁的另一端分别设有滑动槽；所述钩子具有位于上端的固定部、位于中间的连接杆和位于下端的平头部，滑动槽的外侧端部具有供钩子的连接杆卡入的结合槽；钩子与钢架结构连接时，固定部位于滑动槽内并与之连接，三个钩子的平头部用于勾住石墨埚底的下边缘。

优选地，所述臂梁的滑动槽的两侧壁上分别形成有一通孔，其底部设有一固定孔；所述钩子的固定部上设有分别与该通孔和固定孔对应的穿孔。

优选地，所述臂梁的顶部分别安装有把手。

优选地，所述钩子的平头部的长度为5-8mm。

一种使用所述的装置取装石墨埚底的方法，包括以下步骤：

(1)先对装置进行简单的安装，将钩子的固定部与滑动槽连接，并使得钩子的固定部能够在滑动槽内相对滑动，且保证三个钩子的固定部分别滑动到最大范围时，钩子均距离加热器1cm以上；

(2)滑动钩子使得钩子的平头部分别勾住石墨埚底的下边缘，用销钉将钩子与钢架结构固定连接；

(3)在取装石墨埚底的过程中，在垂直上下移动，避免因把手受力不均导致石墨埚底偏移的情况。

本发明的优点在于：

1、石墨埚底距离主加热器比较近，利用本发明的装置可以更好的在垂直方向用力抓取石墨埚底，防止取装过程中石墨埚底碰着主加热器，达到保护加热器的目的。

2、停炉后，为了保证生产效率，都会在单晶炉未彻底凉透之前进行擦炉，此时埚底还比较烫，利用本发明的装置能加强对擦炉人员的保护；

3、石墨埚底距离炉筒上沿较远，操作人员在抬石墨埚底时需弯腰向着炉筒里，石墨埚底较沉，易发生不安全事故，本发明的装置可以通过增加把手的长度使人方便安全的取出石墨埚底。

附图说明