[发明专利]一种防短路功能的离子光学系统及微型离子源

权利要求书

1.一种防短路功能的离子光学系统，包括平行相对设置的屏栅和加速栅，并通过绝缘体使所述屏栅和加速栅的外端部支撑连接，其特征在于：在所述绝缘体的内端面上设置金属颗粒阻拦凸起部，所述金属颗粒阻拦凸起部的靠近所述加速栅的侧面上形成金属沉积带；

所述金属颗粒阻拦凸起部的凸起顶点与所述屏栅上临近的屏栅孔的外缘平齐设置，所述凸起顶点距所述加速栅的距离不大于所述屏栅与加速栅的间距的四分之三；

所述金属颗粒阻拦凸起部为锥形凸起，所述锥形凸起的上锥面与所述屏栅形成夹角α，所述锥形凸起的下锥面与所述加速栅形成夹角β；

夹角α与夹角β的设置组合为α＝10°、β＝10°，或α＝10°、β＝15°，或α＝15°、β＝15°。

2.一种栅极绝缘性高的微型离子源，其特征在于，所述微型离子源的离子光学系统采用如权利要求1所述的防短路功能的离子光学系统。