[发明专利]高速稳定的化学镀铜液及其制备方法有效
申请号: | 201811592325.8 | 申请日: | 2018-12-25 |
公开(公告)号: | CN109457238B | 公开(公告)日: | 2021-01-15 |
发明(设计)人: | 章磊 | 申请(专利权)人: | 上海昕沐化学科技有限公司 |
主分类号: | C23C18/40 | 分类号: | C23C18/40 |
代理公司: | 上海宏京知识产权代理事务所(普通合伙) 31297 | 代理人: | 邓文武 |
地址: | 201699 上海市松江*** | 国省代码: | 上海;31 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 高速 稳定 化学 镀铜 及其 制备 方法 | ||
1.一种高速稳定的化学镀铜液,其特征在于,所述高速稳定的化学镀铜液按体积浓度包括以下组分:
五水合硫酸铜8~25g/L,
酒石酸钾钠15~40g/L,
甲醛5~20ml/L,
氢氧化钠5~20g/L,
稳定剂10~500mg/L,
其余量为水;
其中,所述稳定剂为海因、5,5二甲基海因和5,5二乙基海因中的一种;
所述高速稳定的化学镀铜液还包括组合添加剂,所述组合添加剂由硫脲衍生物和含羟烷基的氨羧化合物组成,所述高速稳定的化学镀铜液中所述硫脲衍生物的体积浓度为0.1~50mg/L,所述高速稳定的化学镀铜液中所述含羟烷基的氨羧化合物的体积浓度为0.1~5g/L;
其中,所述硫脲衍生物为氨基硫脲和烯丙基硫脲中的一种,所述含羟烷基的氨羧化合物为N-羟乙基乙二胺三乙酸(HEDTA)和四羟丙基乙二胺(EDTP)中的一种。
2.如权利要求1所述的高速稳定的化学镀铜液,其特征在于,所述甲醛的质量浓度为37%。
3.一种制备权利要求1-2任一项所述的高速稳定的化学镀铜液的方法,其特征在于,包括如下步骤:将五水合硫酸铜与水互溶,充分搅拌至溶液澄清后,依次加入酒石酸钾钠、稳定剂、组合添加剂、氢氧化钠、甲醛,充分搅拌至溶液澄清,用水定容,即可得高速稳定的化学镀铜液。
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C23C18-00 通过液态化合物分解抑或覆层形成化合物溶液分解、且覆层中不留存表面材料反应产物的化学镀覆
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C23C18-14 .辐射分解法,例如光分解、粒子辐射
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