[发明专利]一种用于离子束束流流强和位置测量的交叉多丝探针

权利要求书

1.一种用于离子束束流流强和位置测量的交叉多丝探针，其特征在于，包括传动座(1)和氮化铝陶瓷支撑板(4)，所述氮化铝陶瓷支撑板(4)安装在辅助支撑架(3)的上部，所述辅助支撑架(3)一端通过销钉(2)固定连接在传动座(1)的上部，所述氮化铝陶瓷支撑板(4)的内部中端安装有第二镀金钨丝靶(6)，内部的一端安装有第一镀金钨丝靶(5)，内部的另一端安装有第三镀金钨丝靶(7)，所述第一镀金钨丝靶(5)、第二镀金钨丝靶(6)和第三镀金钨丝靶(7)的两端均贯穿连接氮化铝陶瓷支撑板(4)的上下两端，所述第一镀金钨丝靶(5)、第二镀金钨丝靶(6)和第三镀金钨丝靶(7)的顶部依次分别连接有第一信号线(8)、第二信号线(9)和第三信号线(10)；

所述第二镀金钨丝靶(6)在氮化铝陶瓷支撑板(4)的内部中端呈纵向设置，第一镀金钨丝靶(5)和第三镀金钨丝靶(7)的顶部在氮化铝陶瓷支撑板(4)的内部均向顶端延伸，第一镀金钨丝靶(5)和第三镀金钨丝靶(7)在氮化铝陶瓷支撑板(4)的内部呈交叉设置，且第一镀金钨丝靶(5)、第二镀金钨丝靶(6)和第三镀金钨丝靶(7)在氮化铝陶瓷支撑板(4)的内部交叉呈“*”型的空间异面结构；

所述第一镀金钨丝靶(5)与第二镀金钨丝靶(6)之间的夹角以及第三镀金钨丝靶(7)与第二镀金钨丝靶(6)之间的夹角均为α，且α的角度在15至75度之间；

该交叉多丝探针的使用方法具体步骤如下：

步骤一：所述传动座(1)带动辅助支撑架(3)转动，运动中通过第一镀金钨丝靶(5)、第二镀金钨丝靶(6)和第三镀金钨丝靶(7)发射电子，得到束流信号，同时检测第一信号线(8)、第二信号线(9)和第三信号线(10)在运动过程中的相对信号强弱；

步骤二：根据检测的信号强弱，实现束流位置和二维剖面的测量，使用中保持第一镀金钨丝靶(5)与第二镀金钨丝靶(6)之间的夹角以及第三镀金钨丝靶(7)与第二镀金钨丝靶(6)之间的夹角均在15至75度之间。

2.根据权利要求1所述的一种用于离子束束流流强和位置测量的交叉多丝探针，其特征在于，所述氮化铝陶瓷支撑板(4)呈“U”型设置，且氮化铝陶瓷支撑板(4)的上下两端与第一镀金钨丝靶(5)、第二镀金钨丝靶(6)和第三镀金钨丝靶(7)的连接处均设置有通孔，且第一镀金钨丝靶(5)、第二镀金钨丝靶(6)和第三镀金钨丝靶(7)利用通孔贯穿固定连接氮化铝陶瓷支撑板(4)。

3.根据权利要求1所述的一种用于离子束束流流强和位置测量的交叉多丝探针，其特征在于，所述第一信号线(8)、第二信号线(9)和第三信号线(10)的外层套装有聚酰亚胺包裹的屏蔽双绞线。

4.根据权利要求1所述的一种用于离子束束流流强和位置测量的交叉多丝探针，其特征在于，所述氮化铝陶瓷支撑板(4)与辅助支撑架(3)的连接处安装有聚酰亚胺垫层，辅助支撑架(3)采用铝合金材料制作。