[发明专利]用于清洗过滤器的自动清洗设备、控制系统及控制方法

说明书

本发明揭示了一种用于清洗过滤器的自动清洗设备、控制系统及控制方法，所述过滤器用于MOCVD，所述自动清洗设备包括容纳碱液的碱液槽、容纳清水的清水槽和循环泵，所述自动清洗设备具有两个工作状态，第一工作状态时，所述循环泵将所述碱液槽内的碱液灌入所述过滤器内，并将经过所述过滤器后的碱液循环到所述碱液槽内；第二工作状态时，所述循环泵将所述清水槽内的水灌入到所述过滤器内，并将经过所述过滤器后的水循环到所述碱液槽内。该自动清洗设备更加环保、安全且效率较高。

技术领域

本发明涉及一种用于清洗过滤器的自动清洗设备、控制系统及控制方法，尤其涉及一种用于清洗MOCVD的过滤器的自动清洗设备、控制系统及控制方法。

背景技术

目前，用于MOCVD的过滤器都是采用人工清洗维护，但经使用的过滤器有残余的MO源，未反应完的MO源与空气和水接触，易产生化学反应，导致着火，存在非常大的安全隐患，因此很不安全。另外，过滤器上残余的废灰的密度较小，人工维护时，易吸入或通过无尘服渗透至皮肤上，从而影响人的身体健康。

发明内容

本发明的目的在于提供一种用于清洗过滤器的自动清洗设备、控制系统及其控制方法，该自动清洗设备更加环保、安全且效率较高。

为实现上述发明目的之一，本发明一实施方式提供一种用于清洗过滤器的自动清洗设备，所述过滤器用于MOCVD，其中；所述自动清洗设备包括：

容纳碱液的碱液槽；

容纳清水的清水槽；

循环泵，所述自动清洗设备具有两个工作状态，第一工作状态时，所述循环泵将所述碱液槽内的碱液灌入所述过滤器内，并将经过所述过滤器后的碱液循环到所述碱液槽内；第二工作状态时，所述循环泵将所述清水槽内的水灌入到所述过滤器内，并将经过所述过滤器后的水循环到所述碱液槽内。

作为本发明实施方式的进一步改进，所述自动清洗设备还包括接入所述过滤器的加热系统，当所述过滤器被碱液和水清洗过后，所述加热系统提供用于吹扫所述过滤器的加热压缩空气。

作为本发明实施方式的进一步改进，所述碱液和加热压缩空气可被择一地从同一个入口进入到所述过滤器。

作为本发明实施方式的进一步改进，所述碱液包含氢氧化钠、过氧化氢和水，所述氢氧化钠与水之间的比例为5％～95％，所述过氧化氢与水的比例为5％～95％，。

作为本发明实施方式的进一步改进，所述碱液中水∶氢氧化钠∶过氧化氢＝4∶1∶1。

作为本发明实施方式的进一步改进，所述碱液槽中设有滤芯。

作为本发明实施方式的进一步改进，所述自动清洗设备还包括排水容器，所述循环泵可选择地能将所述碱液槽的碱液排出到所述排水容器中。

为解决上述发明目的之一，本发明另一实施方式还提供一种根据上述技术方案所述的自动清洗设备的控制系统，其中；所述控制系统包括控制单元、与所述控制单元相连接的复数个控制阀，所述复数个控制阀分别被控制于不同的模式，以使所述自动清洗设备处于第一工作状态或第二工作状态。

作为本发明实施方式的进一步改进，所述控制系统还包括设于所述碱液槽并与所述控制单元电连接的液位感应器。

作为本发明实施方式的进一步改进，所述控制系统还包括设置于所述碱液槽内的加热棒和温度传感器，所述加热棒和温度传感器均与所述控制单元电连接，以将所述碱液槽内碱液的温度控制于20℃～80℃。

为解决上述发明目的之一，本发明再一实施方式还提供一种根据上述技术方案所述的控制系统的控制方法，其中，所述控制单元包括继电器和定时器，所述控制方法依次包括如下步骤：