[发明专利]一种旋转去气泡法制备PDMS薄膜的方法

权利要求书

1.一种旋转去气泡法制备PDMS薄膜的方法，实现该方法的装置包括调平螺母(1)、调平底座(2)、加热装置(3)、加热装置开关(4)、PDMS流动区域(5)、下钢化玻璃底片(6)、可变间距垫片(7)、上钢化玻璃盖片(8)、重力压载物a(9)和重力压载物b(10)；

调平螺母(1)和调平底座(2)共同组成水平调节装置，调平底座(2)的四个角部安装有调平螺母(1)；加热装置(3)安装在调平底座(2)上，加热装置(3)通过加热装置开关(4)实现加热控制；PDMS流动区域(5)、下钢化玻璃底片(6)、可变间距垫片(7)、上钢化玻璃盖片(8)及重力压载物a(9)和重力压载物b(10)共同组成PDMS薄膜成型装置，下钢化玻璃底片(6)安装在加热装置(3)上，下钢化玻璃底片(6)与上钢化玻璃盖片(8)之间设有可变间距垫片(7)，可变间距垫片(7)组成PDMS流动区域(5)，重力压载物a(9)和重力压载物b(10)设置在上钢化玻璃盖片(8)上；可变间距垫片(7)由一或多片25至500微米厚玻璃组成，保证最低成膜厚度25微米；

其特征在于：将PDMS与PDMS凝固剂按10:1配制，充分搅拌均匀后置于真空干燥箱进行初步去气处理；将初步去气后的PDMS涂覆于下钢化玻璃底片(6)中心，并在下钢化玻璃底片(6)四角设置好所需高度的可变间距垫片(7)；以上钢化玻璃盖片(8)覆盖下钢化玻璃底片(6)，此时，下钢化玻璃底片(6)和上钢化玻璃盖片(8)间的PDMS含有大量气泡；将下钢化玻璃底片(6)与上钢化玻璃盖片(8)进行全接触面脱离，再旋转360度至重合，气泡被带入玻璃外侧而无法再次进入上下钢化玻璃间，以此实现祛除上钢化玻璃盖片(8)与下钢化玻璃底片(6)之间的全部气泡；利用调平螺母(1)将调平底座(2)上方的加热装置(3)调至水平状态；最后，将夹有PDMS液膜的下钢化玻璃底片(6)与上钢化玻璃盖片(8)放置于加热装置之上，并以重力压载物a(9)和重力压载物b(10)覆于其上以保证下钢化玻璃底片(6)与上钢化玻璃盖片(8)的距离稳定，80摄氏度加热20分钟即可分离脱模物。

2.根据权利要求1所述的一种旋转去气泡法制备PDMS薄膜的方法，其特征在于：所述下钢化玻璃底片(6)和上钢化玻璃盖片(8)之间的PDMS流动区域(5)厚度通过可变间距垫片(7)的厚度进行控制调节，下钢化玻璃底片(6)和上钢化玻璃盖片(8)支撑起PDMS流动区域(5)的流动空间；下钢化玻璃底片(6)和上钢化玻璃盖片(8)之间通过重力压载物a(9)和重力压载物b(10)实现PDMS薄膜厚度均一性控制。