[发明专利]一种基于金锡合金焊料环的陶瓷外壳平行缝焊密封方法在审

专利信息
申请号: 201811571930.7 申请日: 2018-12-21
公开(公告)号: CN109712895A 公开(公告)日: 2019-05-03
发明(设计)人: 付磊;田爱民;刘洪涛 申请(专利权)人: 中国电子科技集团公司第四十七研究所
主分类号: H01L21/48 分类号: H01L21/48
代理公司: 沈阳科苑专利商标代理有限公司 21002 代理人: 于晓波
地址: 110032 辽*** 国省代码: 辽宁;21
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摘要:
搜索关键词: 盖板 金锡合金焊料 平行缝焊密封 陶瓷外壳 装配体 管壳 密封 集成电路电子封装 平行缝焊机 气密性检测 电极压力 紧密贴合 脉冲周期 平行缝焊 施加压力 陶瓷管壳 对齐 焊料环 放入 缝焊 检漏 脉宽 预烘
【权利要求书】:

1.一种基于金锡合金焊料环的陶瓷外壳平行缝焊密封方法,其特征在于:该方法包括如下步骤:

(1)将陶瓷管壳和盖板放入平行缝焊机中进行预烘培,以去除其中的水汽及其他氧化物;预烘焙后取出;

(2)将带有焊料环的盖板放置在管壳上并对齐,形成装配体;

(3)对装配体施加压力,使盖板与管壳之间紧密贴合;

(4)采用平行缝焊进行密封。

2.根据权利要求1所述的基于金锡合金焊料环的陶瓷外壳平行缝焊密封方法,其特征在于:步骤(1)中,所述预烘培的温度为125℃,预烘培时间为24h。

3.根据权利要求1所述的基于金锡合金焊料环的陶瓷外壳平行缝焊密封方法,其特征在于:步骤(3)中,所施加压力值为1.5磅。

4.根据权利要求1所述的基于金锡合金焊料环的陶瓷外壳平行缝焊密封方法,其特征在于:步骤(4)中,所述平行缝焊过程工艺参数为:功率1300-1500W、脉宽5-7ms、脉冲周期60-80ms、电极压力100-150N、缝焊速度1.0-1.5mm/s。

5.根据权利要求4所述的基于金锡合金焊料环的陶瓷外壳平行缝焊密封方法,其特征在于:步骤(4)中,所述平行缝焊过程工艺参数为:功率1380-1420W、脉宽5-7ms、脉冲周期70-78ms、电极压力110-135N、缝焊速度1.0-1.3mm/s。

6.根据权利要求1所述的基于金锡合金焊料环的陶瓷外壳平行缝焊密封方法,其特征在于:所述盖板为4J42合金或4J29合金;所述焊料环为AuSn合金,AuSn合金中Au含量为80wt.%,Sn含量为20wt.%;焊料环厚度50μm。

7.根据权利要求1所述的基于金锡合金焊料环的陶瓷外壳平行缝焊密封方法,其特征在于:所述陶瓷管壳上待密封区域表面依次镀有镍层和金层,镍层为内层,镍层厚度1.3-8.9μm,金层为最外层,金层厚度1.3-5.7μm。

8.根据权利要求1所述的基于金锡合金焊料环的陶瓷外壳平行缝焊密封方法,其特征在于:采用该方法密封后,气密性检测结果:检漏率小于5x10-9Pa·mm3/s。

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