[发明专利]对称布置的激光位移传感器的光束对准装置及对准方法在审
| 申请号: | 201811571027.0 | 申请日: | 2018-12-21 |
| 公开(公告)号: | CN109668512A | 公开(公告)日: | 2019-04-23 |
| 发明(设计)人: | 李星辉;李建雄;周倩;倪凯;王晓浩 | 申请(专利权)人: | 清华大学深圳研究生院 |
| 主分类号: | G01B11/02 | 分类号: | G01B11/02;G02B27/30 |
| 代理公司: | 广州嘉权专利商标事务所有限公司 44205 | 代理人: | 唐致明 |
| 地址: | 518000 广东*** | 国省代码: | 广东;44 |
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| 摘要: | |||
| 搜索关键词: | 激光位移传感器 对准 光束对准装置 对称布置 光屏 角度放大装置 小孔 对称 传输方向 同心设置 依次设置 一对一 | ||
本发明涉及激光位移传感器技术领域,公开了一种对称布置的激光位移传感器的光束对准装置及对准方法。本发明的对称布置的激光位移传感器的光束对准装置包括光屏,以及对称设于所述光屏两侧的一对二级角度放大装置、对称设于所述光屏两侧的一对一级对准小孔,其中,所述一级对准小孔、所述二级角度放大装置、所述光屏沿光束的传输方向依次设置,所述一级对准小孔与所述二级角度放大装置同心设置。本发明的对称布置的激光位移传感器的光束对准装置可以准确、快捷的对准激光位移传感器。
技术领域
本发明属于激光位移传感器技术领域,尤其是涉及对称布置的激光位移传感器的光束对准装置及对准方法。
背景技术
对准问题是影响对称布置的激光位移传感器精度的一个重要因素,对于高精度的激光位移传感器,对称布置可以有效避免其在中间运动过程中产生的误差。但由于光斑小,手工对准及其复杂,且针对于量程较小的激光位移传感器,其中间所留出的调整空间有限。工业化中的应用通常采用依靠机械定位孔的安装以及手工对准调整或采用光阑等方式在一定距离范围内进行一定的校正,并不能保证重复使用中的精度要求,以及存在效率低下等多种问题。因此,对于对称布置的激光位移传感器来说采用一级对准和光学几何方法使其角度放大,能够有效的提高调整的效率,能够更加精准的调整光束的重合。
在传统对准手段中,对于精度的评判标准并没有准确的指标,使得在应用场景中只能凭借技术人员的经验来判定其精度,光束的对准带来的问题会影响激光位移传感器在实际应用中的测量精度,尤其是在采样率低,行程比较大的情况下,不仅不会发挥对称布置的激光位移传感器的优势,反而容易增大其在运动过程中所引入的误差,使得测量的数据可靠性降低。
发明内容
为了克服现有技术的不足,本发明提供一种对称布置的激光位移传感器的光束对准装置,以增强对称布置的激光位移传感器的对准精度和对准效率。
本发明还提供一种对称布置的激光位移传感器的光束对准方法,以增强对称布置的激光位移传感器的对准精度和对准效率。
本发明解决其技术问题所采用的技术方案是:提供一种对称布置的激光位移传感器的光束对准装置,包括光屏,以及对称设于所述光屏两侧的一对二级角度放大装置、对称设于所述光屏两侧的一对一级对准小孔,其中,所述一级对准小孔、所述二级角度放大装置、所述光屏沿光束的传输方向依次设置,所述一级对准小孔与所述二级角度放大装置同心设置。
作为上述技术方案的进一步改进,所述二级角度放大装置包括沿光束的传输方向依次设置的第一角度放大透镜、第二角度放大透镜。
作为上述技术方案的进一步改进,所述第一角度放大透镜与所述第二角度放大透镜之间的距离等于所述第一角度放大透镜与所述第二角度放大透镜的焦距之和。
作为上述技术方案的进一步改进,所述第二角度放大透镜与所述光屏之间的距离大于所述第二角度放大透镜的焦距。
作为上述技术方案的进一步改进,所述一级对准小孔包括沿光束传输方向依次设置的入射端与出射端,所述入射端与所述出射端之间设有间距,以限制通过所述一级对准小孔的光束的位置以及偏转误差。
作为上述技术方案的进一步改进,所述光屏的两侧面设有刻度标线,用于直观显示光屏两侧形成光斑的偏差。
作为上述技术方案的进一步改进,所述刻度标线采用与光束不同的颜色。
作为上述技术方案的进一步改进,还包括第一支架、第二支架以及安装底座,所述一级对准小孔设于所述第一支架上,所述二级角度放大装置设于所述第二支架上,所述第一支架、所述第二支架以及所述光屏安装于所述安装底座上。
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