[发明专利]谐振器特性的批量化自动测试系统及测试方法

说明书

一种谐振器特性的批量化自动测试系统及测试方法，所述测试系统包括：测试电路板，设置有多个测试通道，用于固定压力传感器；网络分析仪，通过屏蔽线缆与所述测试电路板相连，用于提供测试电路板上待测试压力传感器的谐振器激振端的激励电压，同时检测谐振器拾振端的输出电压，进而输出谐振器特性参数；电源，通过导线与所述测试电路板相连，用于给测试电路板供电；计算机，所述计算机通过网线与所述网络分析仪相连，用于给网络分析仪发送指令，对网络分析仪参数的设置以及对压力传感器谐振器特性的测试，并读取测试结果；还通过USB转串口数据线与所述测试电路板相连，用于给所述测试电路板发送指令。

技术领域

本公开涉及谐振器特性测试技术领域，尤其涉及一种谐振器特性的批量化自动测试系统及测试方法。

背景技术

谐振压力传感器是以谐振器作为敏感元件，根据谐振器的谐振频率随待检测压力变化而变化的规律来测量压力大小的一种装置。在谐振压力传感器组装完毕后，首先需要测试谐振器的特性，以判断传感器性能优劣，同时为后续设计电路提供参考。谐振器的特性测试是采用网络分析仪在谐振器的激振端施加激励电压，检测拾振端的输出电压，从而确定谐振器的谐振频率、幅频特性、相频特性、Q值和电阻等特性。传统的手动测试存在操作繁琐、数据记录麻烦、效率低等问题，耗时人力成本比较高，且不利于批量化生产。

论文“硅谐振压力微传感器开环自动测试技术”介绍了一种谐振压力微传感器谐振器特性自动测试系统，该系统采用多个电路模块，设计过于繁琐，仅能测试传感器的幅频特性和Q值，测试功能单一，自动化程度较低，无法实现对多只压力传感器的开环自动测试。

因此，如何研发出一种操作简单、工作效率高、自动化程度高，并且能实现谐振器特性批量化自动测试的系统成为本领域技术人员亟待解决的技术难题。

公开内容

(一)要解决的技术问题

基于上述问题，本公开提供了一种谐振器特性的批量化自动测试系统及测试方法，以缓解现有技术中测试系统设计过于繁琐，仅能测试压力传感器的幅频特性和Q值，测试功能单一，自动化程度较低，无法实现对多只压力传感器的开环自动测试等技术问题。

(二)技术方案

本公开的一个方面，提供一种谐振器特性的批量化自动测试系统，包括：测试电路板3，设置有多个测试通道，用于固定压力传感器9；网络分析仪1，通过屏蔽线缆2与所述测试电路板3相连，用于提供测试电路板3上待测试压力传感器9的谐振器激振端的激励电压，同时检测谐振器拾振端的输出电压，进而输出谐振器特性参数；电源6，通过导线8与所述测试电路板3相连，用于给测试电路板3供电；以及计算机5，所述计算机5通过网线4与所述网络分析仪1相连，用于给网络分析仪1发送指令，对网络分析仪1参数的设置以及对压力传感器9谐振器特性的测试，并读取测试结果；还通过USB转串口数据线7与所述测试电路板3相连，用于给所述测试电路板3发送指令。

在本公开实施例中，谐振器特性的批量化自动测试系统所测试的压力传感器的谐振器特性参数包括：谐振频率、幅频特性、相频特性、Q值或电阻值。

在本公开实施例中，所述测试电路板3，包括：屏蔽线缆接口10，作为与网络分析仪1相连的屏蔽线缆2的接口；主控端11，用于接收计算机5所发出的指令；数据选择器12，用于执行从主控端传递出的由计算机5所发出的指令，并依此选择不同的测试通道测试不同的压力传感器9；电源接口13，作为与所述电源6相连的导线8的接口；串口接口14，作为与所述计算机5相连的USB转串口数据线7的接口；以及插孔15，每一个所述测试通道对应一个插孔15，用于插接待测试压力传感器9。

在本公开实施例中，所述主控端11包括：stm32单片机、stm8单片机、51单片机或FPGA处理器。

在本公开实施例中，所述计算机5根据测试过程中不同的错误选择不同的处理方式，所述处理方式包括：提示、报警、终止程序或关闭设备。