[发明专利]光微通道板的制备方法、制作设备及产品

说明书

本发明提供了一种光微通道板的制备方法、制作设备及产品，涉及光学元件技术领域，为解决用于制备微通道板的传统方法存在生产效率低、能耗大且成本高的技术问题。该光微通道板的制备方法包括以下步骤：(a)提供具有目标图案的掩膜版；(b)提供基板；(c)将掩膜版置于基板的上方，且使固化光源位于掩膜版的上方，并对感光材料层进行曝光；(d)清洗上述步骤(c)中的进行曝光后的感光材料层。本发明具有生产效率高、能耗小且成本低等特点。

技术领域

本发明涉及光学元件技术领域，尤其是涉及一种光微通道板的制备方法、制作设备及产品。

背景技术

随着，二元光学、MEMS和指纹采集技术的发展，具有微孔阵列结构的光学元件得到了广泛的应用，例如：微通道板。在光学元件中，杂散光是指远离吸收光的其它波长的入射光，它是光学系统中的非有效光线，可能会对正常的成像造成影响。信噪比，即SNR(Signalto Noise Ratio)，又称讯噪比。狭义来讲是指放大器的输出信号的电压与同时输出的噪声电压的比，常用分贝数表示，设备的信噪比越高表示所产生的杂音越少。一般来说，信噪比越大，说明混在信号里的噪声越小。

为了阻止杂散光进入，提高光信号的信噪比，需要使用各种内部多光路传输且互不干扰的微通道板。

在传统制作微通道板的方法中，其制备原料主要是采用无机材料，例如：玻璃。其中，光微通道板的传统制备方法多采用光纤束混合阻光物质熔化拉伸而成，具体地，现有微通道板的制作方法包括以下步骤：通过拉伸得到透光介质材料细棒和不透光基体材料细棒；将透光介质材料细棒和不透光基体材料细棒组成复合棒；将复合棒拉制成复合通道丝；根据所制备的光通道尺寸，将复合通道丝制成微通道板所需尺寸的毛坯复合丝棒；将毛坯复合丝棒熔合成毛坯棒；对毛坯棒进行后处理加工得到微通道板。

由前述可知，现有技术中微通道板的制备步骤较多，从而导致整个制备方法的生产效率较低、能耗较大且成本较高的问题。

发明内容

本发明的第一目的在于提供一种光微通道板的制备方法，为解决用于制备微通道板的传统方法存在生产效率低、能耗大且成本高的技术问题。

本发明提供的光微通道板的制备方法，包括以下步骤：

(a)提供具有目标图案的掩膜版；

(b)提供基板，并在所述基板的表面涂覆感光材料，形成感光材料层；

(c)将所述掩膜版置于所述基板的上方，且使固化光源位于所述掩膜版的上方，并对所述感光材料层进行曝光；

(d)清洗上述步骤(c)中的进行曝光后的所述感光材料层，得到具有多个孔洞的第一光微通道板。

进一步地，以所述第一光微通道板作为新基板，并在所述新基板的表面涂覆感光材料，形成新感光材料层，并对所述新感光材料层进行曝光，然后清洗进行曝光后的所述新感光材料层，得到具有多个孔洞的第二光微通道板。

进一步地，所述掩膜版与所述基板相平行设置。

进一步地，所述掩膜版与所述基板呈夹角设置。

进一步地，所述目标图案包括多个用于阻挡曝光用光线的掩膜图形区，多个所述掩膜图形区均匀且间隔设置。

优选的，所述掩膜图形区的形状为圆形。

进一步地，所述感光材料采用UV树脂。

进一步地，所述固化光源采用单色UV或激光。

本发明提供的光微通道板的制备方法的有益效果：