[发明专利]一种大直径区熔硅单晶自动收尾方法及系统

权利要求书

1.一种大直径区熔硅单晶自动收尾方法，其特征在于，包括以下步骤：

S1、根据单晶规格计算需求多晶料剩余长度，当多晶料剩余长度达到设定值后，打开收尾程序，并对单晶下速和多晶上速、以及功率进行调节，使单晶直径逐渐从205mm收细到160-180mm；

S2、当单晶直径收细到160-180mm后，调节单晶下速和多晶上速、以及功率，使单晶熔体与多晶硅熔体液面逐渐脱离；

S3、单晶熔体与多晶硅熔体液面脱离后，降低功率设定值，单晶下速与所述步骤S2中的调节后的单晶下速保持一致，对多晶上速进行调节；

S4、进行降温处理，到达设定时间后开启炉门，拆取单晶；

所述步骤S1中，对单晶下速和多晶上速、以及功率的调节值如下：

单晶下速为2.0-2.6mm/min，调节后进行匀速下降；

多晶上速为3-5mm/min，调节后进行匀速上升；

功率设定值每间隔20-40s降低0.3-0.6％；

所述步骤S2中，对单晶下速和多晶上速、以及功率的调节值如下：

单晶下速降至1-2mm/min之间，调节后进行匀速下降；

多晶上速降为2-3mm/min，调节后进行匀速上升；

功率设定值自动累积降至初始功率设定值的70-80％范围内；

所述步骤S3中，单晶下速和多晶上速与S2中调节后的速度一致，并保持匀速运动；

功率设定值降至初始功率值的50-70％。

2.根据权利要求1所述的大直径区熔硅单晶自动收尾方法，其特征在于：所述步骤S3的运行时间为60-90min。

3.一种应用权利要求1所述的大直径区熔硅单晶自动收尾方法的自动收尾系统，其特征在于：包括PLC控制器、以及PLC控制器分别连接的时间记录调节模块、功率调节模块、动力单元模块、数据采集模块；

所述时间记录调节模块用于记录、设定各步骤的时间数据；

所述功率调节模块用于调节加热功率；

所述动力单元模块用于驱动单晶向下运动，驱动多晶向上运动；

所述数据采集模块用于采集单晶直径；

所述动力单元模块为伺服电机；

所述数据采集模块为CCD摄像机；

所述PLC控制器连接PC机，所述PC机与PLC控制器双向通信。