[发明专利]成膜装置、成膜方法以及电子设备制造方法

说明书

本发明的成膜装置用于使蒸镀材料蒸发并蒸镀到旋转的基板的成膜面上，包括配置在与所述基板的成膜面相对的面内的三个以上的蒸发源，所述三个以上的蒸发源分别具有以旋转轴为中心呈放射状配置的多个坩埚，能够以所述旋转轴为旋转中心进行旋转，所述三个以上的蒸发源被配置成所述三个以上的蒸发源中的任意三个蒸发源的各旋转中心在所述面内呈三角形状，所述三个以上的蒸发源各自的所述多个坩埚包括位于蒸镀位置的蒸镀用坩埚、和位于预加热位置的预加热用坩埚，所述三个以上的蒸发源各自的所述蒸镀用坩埚在所述面内配置在从所述基板的旋转中心轴离开同一距离的位置。

技术领域

本发明涉及成膜装置、成膜方法以及电子设备制造方法。

背景技术

最近，作为平板显示装置，有机EL显示装置受到关注。有机EL显示装置是自发光显示器，其响应速度、视场角、薄型化等特性优于液晶面板显示器，在以监视器、电视、智能手机为代表的各种便携式终端等领域以较快的速度代替现有的液晶面板显示器。另外，在汽车用显示器等方面也在扩大其应用领域。

有机EL显示装置的元件具有在两个相对的电极(阴极电极、阳极电极)之间形成有引起发光的有机物层的基本构造。有机EL显示装置的元件的有机物层和金属电极层通过以下方式进行制造，即，对在真空腔室内收容有蒸镀材料的蒸发源进行加热，使蒸镀材料蒸发，经由形成有像素图案的掩模在基板上成膜。

特别是，如图7所示，用于在基板上成膜金属电极层的蒸发源700在圆周上配置有多个坩埚710～770，在多个坩埚中，实际用于成膜的坩埚710向蒸镀位置旋转移动而使电极材料朝向基板蒸发。将这样的旋转型的多点蒸发源也称为旋转装置。

另一方面，随着成膜对象的基板的尺寸大型化，为了提高成膜速度等，需要在成膜装置内配置多个蒸发源。

然而，在这样配置多个蒸发源的情况下，因蒸发源的配置，各蒸发源相对于基板的蒸发特性可能会产生差异，另外，也有可能导致成膜装置的大型化，但尚未提出充分考虑这样的蒸发源的蒸发特性的差、成膜装置内的空间利用效率而有效地配置多个蒸发源的技术。

发明内容

本发明要解决的课题

本发明考虑到以上方面，其目的在于提供一种能够有效地配置多个蒸发源以便提高成膜装置内的空间利用效率且抑制成膜装置的大型化的成膜装置、使用该成膜装置的成膜方法以及电子设备制造方法。

另外，本发明的另一目的在于提供一种成膜装置、使用该成膜装置的成膜方法以及电子设备制造方法，该成膜装置能够提高成膜装置内的空间利用效率、对基板进行良好的成膜并且能够降低来自各蒸发源的热辐射的变动对基板造成的影响。

用于解决课题的方案

本发明的第一方案的成膜装置，使蒸镀材料蒸发并蒸镀到旋转的基板的成膜面上，其特征在于，包括配置在与所述基板的成膜面相对的面内的三个以上的蒸发源，所述三个以上的蒸发源分别具有以旋转轴为中心呈放射状配置的多个坩埚，能够以所述旋转轴为旋转中心进行旋转，所述三个以上的蒸发源被配置成所述三个以上的蒸发源中的任意三个蒸发源的各旋转中心在所述面内呈三角形状，所述三个以上的蒸发源各自的所述多个坩埚包括位于蒸镀位置的蒸镀用坩埚、和位于预加热位置的预加热用坩埚，所述三个以上的蒸发源各自的所述蒸镀用坩埚在所述面内配置在距所述基板的旋转中心轴相同距离的位置处。