[发明专利]一种激光超声振动检测装置及方法

权利要求书

1.一种激光超声振动检测装置，其特征在于，包括光电检测器、微信号调节器、超声传感器、振动传感器、数据采集卡和处理器；

所述光电检测器包括第一半透射镜、激光脉冲、第二半透射镜、第一反射镜、第二反射镜、检偏器、凸透镜和光电探测器，第一半透射镜设置于激光脉冲与样品之间的光路上，第一半透射镜的透射光指向样品方向，第一半透射镜的反射光通过第一反射镜指向第二半透射镜，样品的反射光经第二反射镜指向第二半透射镜，第一半透射镜的反射光和样品的反射光经第二半透射镜依次通过检偏器、凸透镜和光电探测器，光电探测器用于接收样品放射的激光并向数据采集卡发送信号；

所述超声传感器通过微信号调节器与数据采集卡电连接，用于接收并发送样品的超声信号；

所述振动传感器通过微信号调节器与数据采集卡电连接，用于接收并发送样品产生的振动信号；

所述处理器与数据采集卡电连接，用于接收由光电探测器、超声传感器和振动传感器发送的信号。

2.根据权利要求1所述的激光超声振动检测装置，其特征在于，还包括第三反射镜和第四反射镜，所述第三反射镜设置于第二反射镜的反射光路上，所述第四反射镜设置于第三反射镜的反射光路上，第四反射镜的反射光路指向第二半透射镜，第三反射镜和第四反射镜之间的距离可调。

3.根据权利要求1所述的激光超声振动检测装置，其特征在于，所述凸透镜为LENS凸透镜。

4.根据权利要求1所述的激光超声振动检测装置，其特征在于，所述激光脉冲选用ND：YAG激光器。

5.一种激光超声振动检测方法，其特征在于，包括如下步骤：采集数据；

所述数据包括光电转换信号、超声信号和振动信号；

对光电转换信号、超声信号和振动信号进行结合；

判断是否有缺陷，若有缺陷，分析缺陷量及类型，若无缺陷，回到数据采集步骤。

6.根据权利要求5所述的激光超声振动检测方法，其特征在于，在采集光电转换信号步骤与光电转换信号、超声信号和振动信号结合步骤之间还包括如下步骤：

对光电转换信号进行干涉条纹与特征分析；

对经过干涉条纹与特征分析的光电转换信号进行缺陷位移。

7.根据权利要求5所述的激光超声振动检测方法，其特征在于，在采集超声信号步骤与光电转换信号、超声信号和振动信号结合步骤之间还包括如下步骤：

对超声信号进行特性关系分析；

对经过特性关系分析的超声信号进行声波与缺陷特征分析。

8.根据权利要求5所述的激光超声振动检测方法，其特征在于，在采集振动信号步骤与光电转换信号、超声信号和振动信号结合步骤之间还包括如下步骤：

对采集的振动信号进行特性关系分析；

对经过特性关系分析的振动信号进行缺陷特征分析。