[发明专利]一种过滤装置及过滤方法有效
申请号: | 201811552181.3 | 申请日: | 2018-12-19 |
公开(公告)号: | CN109364570B | 公开(公告)日: | 2021-02-02 |
发明(设计)人: | 王选芸 | 申请(专利权)人: | 武汉华星光电半导体显示技术有限公司 |
主分类号: | B01D36/00 | 分类号: | B01D36/00 |
代理公司: | 深圳翼盛智成知识产权事务所(普通合伙) 44300 | 代理人: | 黄威 |
地址: | 430079 湖北省武汉市东湖新技术*** | 国省代码: | 湖北;42 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 一种 过滤 装置 方法 | ||
本申请提出了一种过滤装置及过滤方法。过滤装置用以进行溶液的过滤。过滤装置包括气泡过滤系统,所述气泡过滤系统至少包括第一气泡过滤系统和第二气泡过滤系统,第一气泡过滤系统用以进行所述溶液的第一次气泡过滤。第二气泡过滤系统用以进行所述溶液的第二次气泡过滤。其中,所述第二气泡过滤系统的过滤精度大于所述第一气泡过滤系统的过滤精度。本申请通过设计一种过滤装置及过滤方法,以对溶液中的凝胶和气泡进行分级过滤,能够提高溶液中的气泡和凝胶的去除效率,进而提升后续涂布过程中的产品良率。
技术领域
本申请涉及显示制作技术领域,特别涉及一种过滤装置及过滤方法。
背景技术
目前柔性有源矩阵有机发光二极管(Flexible AMOLED)器件主要是基于聚酰亚胺进行开发和制作的,通常通过狭缝式涂布(slit coat)或旋转涂布(spin coat)的方式将聚酰亚胺(PI)液体涂覆到玻璃基板上,之后再进行干燥和烘烤。
现有的聚酰亚胺溶液中常常含有大量微米尺寸的气泡和凝胶,在涂覆时和涂覆后也不能对气泡进行有效的挤出,在随后的干燥和烘烤阶段,这些气泡会在聚酰亚胺的表面扩散形成一定尺寸(1~4μm)的气孔,这些气孔在后续的工艺过程中会出现脱落现象。由此严重影响到了后续工艺的稳定性。
目前常用的去除聚酰亚胺溶液中气泡的方法为将聚酰亚胺溶液长时间(36~72小时)静置在真空环境中并一直进行抽真空,但这样的方法存在诸多不足,一方面所需时间较长,不能适应工业化量产的需求;另一方面,一直抽真空容易造成聚酰亚胺溶液中的低熔点有机溶剂(例如N-甲基吡咯烷酮等)挥发而导致聚酰亚胺溶液的配比偏离原始成分,在后续的涂布过程中会造成缺陷。
因此,目前亟需一种过滤装置及过滤方法以解决上述问题。
发明内容
本申请提供了一种过滤装置及过滤方法,以解决现有聚酰亚胺溶液中存在气泡和凝胶,导致在后续涂布过程中发生产品不良的问题。
为解决上述问题,本申请提供的技术方案如下:
根据本申请的一个方面,提供了一种过滤装置,用以进行溶液的过滤,包括:
气泡过滤系统,用以进行所述溶液中气泡的过滤,所述气泡过滤系统至少包括:
第一气泡过滤系统,用以进行所述溶液的第一次气泡过滤;
第二气泡过滤系统,用以进行所述溶液的第二次气泡过滤;
其中,所述第二气泡过滤系统的过滤精度大于所述第一气泡过滤系统的过滤精度。
在本申请的过滤装置中,所述第一气泡过滤系统包括:
第一通道,用以输送所述溶液至第一过滤构件;
所述第一过滤构件,包括拥有第一直径的第一塞孔,所述第一塞孔用以将所述溶液中大于所述第一直径的气泡过滤。
在本申请的过滤装置中,所述第二气泡过滤系统包括:
第二通道,用以输送所述溶液至第二过滤构件;
所述第二过滤构件,包括拥有第二直径的第二塞孔,所述第二塞孔用以将所述溶液中大于所述第二直径的气泡过滤。
在本申请的过滤装置中,所述溶液为聚酰亚胺溶液。
在本申请的过滤装置中,所述过滤装置还包括凝胶过滤系统,所述凝胶过滤系统用以进行所述溶液中凝胶的过滤;
其中,所述凝胶过滤系统包括过滤体,所述过滤体内设置有至少两条供所述溶液通过的过滤通孔。
在本申请的过滤装置中,所述过滤体的制备材料包括三氧化二铝。
在本申请的过滤装置中,所述过滤通孔为非直线过滤通孔。
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