[发明专利]一种检测环境因素的传感装置及其使用方法

权利要求书

1.一种检测环境因素的传感装置，其特征在于，所述传感装置检测环境因素并根据环境因素产生电流，所述环境因素包括可见光、待测光、其他光和环境温度；

所述传感装置包括：

第一传感器，检测并根据包括待测光在内的环境因素生成第一电流；

第二传感器，检测并根据排除待测光在内的环境因素生成第二电流；以及

读取电路，根据第一电流和第二电流，计算得到反映待测光强度的待测光电流；

所述第一传感器包括第一阻挡结构，以透过所述待测光；

所述第二传感器包括第二阻挡结构，以阻挡所述待测光透过；

所述待测光包括紫外光，其他光包括红外光，所述第一阻挡结构采用非晶硅制成，以阻挡所述可见光透过，而透过所述紫外光和红外光；

所述第二阻挡结构采用色阻或者金属中的至少一种制成，以阻挡所述紫外光、红外光和可见光透过；

所述色阻为红色色阻、绿色色阻和蓝色色阻中的两种或者三种，或者黑色色阻；

所述第一传感器包括与所述第一阻挡结构相对设置的第一检测结构，以检测所述第一电流；所述第一检测结构采用氧化锗硅制成；

在氧化锗硅中，设硅的摩尔量为x，锗的摩尔量为y，氧的摩尔量为z，其中，1.0≤x≤2.0，0.1≤y≤0.5，0.5≤z≤1.0；

所述第二传感器包括与所述第二阻挡结构相对设置的第二检测结构，以检测所述第二电流；所述第二检测结构与所述第一检测结构的结构相同。

2.如权利要求1所述的一种检测环境因素的传感装置，其特征在于，所述第一传感器检测并根据待测光和环境温度生成第一电流；所述第二传感器检测并根据环境温度生成第二电流；

所述待测光引起的待测光电流由第一电流减去第二电流得到。

3.一种检测环境因素的传感装置，其特征在于，所述传感装置检测环境因素并根据环境因素产生电流，所述环境因素包括可见光、待测光、其他光和环境温度；

所述传感装置包括：

第一传感器，检测并根据待测光和环境温度生成第一电流；

第二传感器,检测并根据环境温度生成第二电流；以及

读取电路，使用第一电流减去第二电流得到由待测光引起的待测光电流；

其中，当所述待测光包括红外光，所述其他光包括紫外光时；

所述第一传感器包括第一阻挡结构；所述第一阻挡结构采用非晶硅制成，以阻挡所述可见光透过，而透过所述紫外光和红外光；所述第二传感器包括第二阻挡结构；所述第二阻挡结构采用金属制成，以阻挡所述紫外光、红外光和可见光透过；

所述第一传感器包括与所述第一阻挡结构相对设置的第一检测结构，以检测所述第一电流；所述第一检测结构采用微晶硅或者多晶硅或者氧化锗硅制成，在氧化锗硅中，设硅的摩尔量为x，锗的摩尔量为y，氧的摩尔量为z；其中，0.1≤x≤0.3，1.0≤y≤1.5，0.1≤z≤0.3；

所述第二传感器包括与所述第二阻挡结构相对设置的第二检测结构，以检测所述第二电流；所述第二检测结构与所述第一检测结构的结构相同。

4.一种使用如权利要求3所述的检测环境因素的传感装置的方法，其特征在于，包括步骤：

第一传感器检测并根据包括待测光在内的环境因素生成第一电流；

第二传感器检测并根据排除待测光在内的环境因素生成第二电流；以及

根据第一电流和第二电流计算得到反映待测光强度的待测光电流；

所述待测光包括红外光，所述其他光包括紫外光；

所述第一阻挡结构采用非晶硅制成，以阻挡所述可见光透过，而透过所述红外光和紫外光；

所述第二阻挡结构采用金属制成，以阻挡所述紫外光、红外光和可见光透过；

所述第一传感器包括与第一阻挡结构相对设置的第一检测结构，以检测所述第一电流；所述第一检测结构采用微晶硅或者多晶硅或者氧化锗硅制成，在氧化锗硅中，设硅的摩尔量为x，锗的摩尔量为y，氧的摩尔量为z，其中，0.1≤x≤0.3，1≤y≤1.5，0.1≤z≤0.3；

所述第二传感器包括与第二阻挡结构相对设置的第二检测结构，以检测所述第二电流；所述第二检测结构与所述第一检测结构的结构相同；

所述第一传感器检测并根据包括待测光在内的环境因素生成第一电流；第二传感器检测并根据排除待测光在内的环境因素生成第二电流；所述根据第一电流和第二电流计算得到反映待测光强度的待测光电流的步骤包括：

使用第一检测结构配合第一阻挡结构检测并根据红外光和环境温度生成第一电流；

使用第二检测结构配合第二阻挡结构检测并根据环境温度生成第二电流；以及

根据第一电流和第二电流计算得到反映待测光强度的待测光电流。