[发明专利]一种固定流导法流量计测量微型真空泵抽速的装置及方法

说明书

本发明公开了一种固定流导法流量计测量微型真空泵抽速的装置及方法。使用本发明能够实现微型真空泵抽速的精确测量。本发明使用固定流导法气体流量计，既能产生微小流量、又能保持长时间提供稳定气体流量，解决了微型真空泵抽速测量中所需微小稳定气体流量的难题；同时，避免了通常超高真空泵抽速测试用测试罩上下对称结构的方法，减小了测试罩内表面积，减小了测试罩表面积放气影响量，提高了测量准确性，实现了微型真空泵抽速的准确测量。

技术领域

本发明涉及真空泵测量技术领域，具体涉及一种固定流导法流量计测量微型真空泵抽速的装置及方法。

背景技术

测量真空泵性能时需要流量计来提供标准气体流量。通常测量真空泵抽速的流量计所提供的气体流量较大，如：《容积真空泵性能测量方法》(JB/T7266-94)等效于国际标准《容积真空泵性能测量方法—第一部分：体积流率(抽速)的测量》(ISO 1607/II-1980)，《容积真空泵性能测量方法》规定流量计选用滴管式流量计和玻璃转子流量计，滴管式流量计流量范围为(1.25×10^-4～14.3)Pa·m³/s，玻璃转子流量计流量范围为(14.7×10^-4～4530)Pa·m³/s；《滑阀式真空泵性能测试方法》(JB/T1246-97)所规定的流量计的种类与流量计流量范围与《容积真空泵性能测量方法》(JB/T 7266-94)所规定的相一致；罗茨真空泵性能测试方法(JB/T7674-95)规定一般选用滴管式流量计，但流量较大时可采用浮子流量计，流量计范围一般在(10^-4～1)Pa·m³/s；《涡轮分子泵性能测试方法》(GB7774-87)中规定流量计采用滴管式流量装置(参照GB6307.1-86《蒸汽流真空泵抽速测量方法》)，流量计范围为(10^-4～1)Pa·m³/s。

微型真空泵抽速需要气体微小，其流量范围为(5×10^-6～1×10^-9)Pa·m³/s，所以现有真空泵抽速测量所规定的流量计不能满足微型真空泵的要求。

发明内容

有鉴于此，本发明提供了一种固定流导法流量计测量微型真空泵抽速的装置及方法，能够实现微型真空泵抽速的精确测量。

本发明的固定流导法流量计测量微型真空泵抽速的装置，包括：气瓶、第一抽气系统、稳压室、固定流导小孔、测试罩、第二抽气系统、第一真空计和第二真空计，外围设备为待测微型真空泵；其中，测试罩为没有上下测量室的测试罩；

其中，气瓶通过第一阀门、第三阀门与稳压室相连；第一抽气系统通过第二阀门、第三阀门与稳压室相连；稳压室通过第四阀门、固定流导小孔、第五阀门与测试罩连接；待测微型真空泵通过第六阀门与测试罩连接；第二抽气系统通过第七阀门与测试罩连接；

第一真空计用于测量稳压室中气体压力；第二真空计用于测量测试罩中气体压力。

进一步的，所述气瓶中气体为已知的单一气体或混合气体；气瓶的气体出口压力可调。

进一步的，所述第一阀门、第二阀门、第三阀门、第四阀门、第五阀门、第六阀门和第七阀门均为真空阀门。

进一步的，第一真空计为电容薄膜真空计；第二真空计为磁悬浮转子真空计。

进一步的，所述测试罩采用真空熔炼的316L不锈钢制作而成。

本发明还提供了一种微型真空泵抽速的测量方法，采用上述装置进行测量，包括如下步骤：

步骤1，初始时，所有阀门以及抽气系统均处于关闭状态；

打开第二阀门、第三阀门和第四阀门，启动第一抽气系统抽真空，将稳压室抽至本底压力后，关闭第四阀门和第二阀门，关闭第一抽气系统，打开第一阀门，气瓶中的气体进入稳压室；