[发明专利]一种柔性双层阈值选通管器件及其制备方法在审
| 申请号： | 201811543867.6 | 申请日： | 2018-12-17 |
| 公开（公告）号： | CN109585651A | 公开（公告）日： | 2019-04-05 |
| 发明（设计）人： | 叶葱;周易;徐中;熊文;刘炎欣 | 申请（专利权）人： | 湖北大学 |
| 主分类号： | H01L45/00 | 分类号： | H01L45/00 |
| 代理公司： | 北京金智普华知识产权代理有限公司 11401 | 代理人： | 杨采良 |
| 地址： | 430062 湖北*** | 国省代码： | 湖北;42 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 选通管 过渡金属氧化物 氧化石墨烯薄膜 底电极 介质层 制备 磁控溅射技术 发明制备工艺 交叉阵列结构 氧化铪薄膜 阻变存储器 读写性能 漏电问题 弯曲曲率 有效解决 制备各层 铂电极 顶电极 旋涂法 衬底 溅射 选通 薄膜 兼容 退化 | ||
1.一种柔性双层阈值选通管器件，其特征在于：所述选通管器件从下至上依次包括柔性衬底、底电极、氧化石墨烯薄膜层、二元过渡金属氧化物介质层和顶电极。
2.根据权利要求1所述的柔性双层阈值选通管器件，其特征在于：所述的柔性衬底材料为聚萘二甲酸乙二醇酯、聚对苯二甲酸乙二醇酯、聚酰亚胺中的任一种；所述的底电极为FTO、ITO、ZTO或TiN材料中的任一种；所述的二元过渡金属氧化物介质层材料为氧化铪、二氧化钛、二氧化锆、氧化锌中的任一种。
3.根据权利要求2所述的柔性双层阈值选通管器件，其特征在于：所述的底电极为ITO。
4.根据权利要求2所述的柔性双层阈值选通管器件，其特征在于：所述的二元过渡金属氧化物介质层材料为氧化铪。
5.根据权利要求2所述的柔性双层阈值选通管器件，其特征在于：所述的顶电极材料为Pt。
6.根据权利要求2所述的柔性双层阈值选通管器件，其特征在于：所述底电极厚度为50～300nm，所述氧化石墨烯薄膜层厚度为20～70nm，所述氧化铪薄膜层厚度为20～70nm，所述顶电极的厚度为100～300nm。
7.权利要求2所述的柔性双层阈值选通管器件的制备方法，其特征在于：所述方法包含如下步骤：
(1)选择带有底电极的柔性衬底，并对所述底电极表面进行预处理；
(2)在预处理后的底电极上表面制备氧化石墨烯薄膜层；
(3)在所述氧化石墨烯薄膜上表面制备氧化铪薄膜介质层；
(4)在所述氧化铪薄膜介质层表面制备顶电极。
8.根据权利要求7所述的柔性双层阈值选通管器件的制备方法，其特征在于：步骤(2)所述氧化石墨烯薄膜具体是采用旋涂法将超声好的氧化石墨烯分散液旋涂在所述底电极上表面制得，其中：所述氧化石墨烯分散液浓度为0.3～1.0mg/ml，旋涂转速为3000r/min，重复旋涂3～5次。
9.根据权利要求7所述的柔性双层阈值选通管器件的制备方法，其特征在于：步骤(3)所述氧化铪薄膜介质层具体是以氧化铪为靶材，利用磁控溅射技术制得，其中：所述磁控溅射真空度小于10-4Pa，衬底温度为室温，工作压强为0.3～0.8Pa、溅射功率为50～100W。
10.根据权利要求7所述的柔性双层阈值选通管器件的制备方法，其特征在于：步骤(4)所述顶电极具体是以铂为靶材，利用直流磁控溅射或原子层沉积技术制得，其中：所述磁控溅射真空度小于10-4Pa，衬底温度为室温，工作压强为0.3～0.8Pa、溅射功率为50～120W。
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