[发明专利]一种高性能立方织构金属基带及其制备方法

权利要求书

1.一种高性能立方织构金属基带，包括厚度为30μm～40μm的冷轧Ti合金带材以及在该Ti合金带材表面通过磁控溅射形成的Ni-9.3at.％W合金薄膜，所述Ti合金带材中Al的质量分数为7％～10％，所述Ni-9.3at.％W合金薄膜厚度为100nm～500nm，并且，在通过磁控溅射形成所述Ni-9.3at.％W合金薄膜前，所述冷轧Ti合金带材被加热至1390℃～1420℃保温10min～15min，然后被立即空冷，在形成所述Ni-9.3at.％W合金薄膜后，所述冷轧Ti合金带材在1260℃～1300℃的温度保温15min。

2.一种如权利要求1所述的高性能立方织构金属基带的制备方法，包括以下步骤：

步骤1：Ti合金带材的制备：

采用熔炼法获得Ti-Al合金铸锭，其中Al的质量分数为7％～10％，通过冷轧得到最终厚度为30μm～40μm的冷轧Ti合金带材；

步骤2：对冷轧Ti合金进行固溶处理：

将上述冷轧Ti合金带材加热至1390℃～1420℃保温10min～15min，然后立即空冷；

步骤3：Ti合金表面采用磁控溅射Ni-9.3at.％W合金薄膜：

将上述固溶处理后的Ti合金带材表面采用磁控溅射的方法沉积一层厚度为100nm～500nm的Ni-9.3at.％W合金，其中真空度为0.2～0.8Pa，溅射功率为200W～270W；

步骤4：对前述Ni-9.3at.％W合金薄膜进行热处理：

将磁控溅射后的合金带材进行热处理，具体工艺为：1260℃～1300℃保温15min。

3.如权利要求2所述的制备方法，其中，步骤1中，Al的质量分数为8％，通过冷轧得到的冷轧Ti合金带材的最终厚度为40μm。

4.如权利要求2所述的制备方法，其中，步骤1中，Al的质量分数为7％，通过冷轧得到的冷轧Ti合金带材的最终厚度为30μm。

5.如权利要求2所述的制备方法，其中，步骤2中，将所述冷轧Ti合金带材加热至1390℃保温10min～15min，然后立即空冷。

6.如权利要求2所述的制备方法，其中，步骤2中，将所述冷轧Ti合金带材加热至1420℃保温10min～15min，然后立即空冷。

7.如权利要求2所述的制备方法，其中，步骤3中，Ni-9.3at.％W合金的厚度为100nm，真空度为0.2Pa，溅射功率为200W～270W。

8.如权利要求2所述的制备方法，其中，步骤3中，Ni-9.3at.％W合金的厚度为500nm，真空度为0.8Pa，溅射功率为270W。

9.如权利要求2所述的制备方法，其中，步骤4中以1260℃保温15min。

10.如权利要求2所述的制备方法，其中，步骤4中以1300℃保温15min。