[发明专利]即时影像清晰度提升方法在审

专利信息
申请号: 201811536405.1 申请日: 2018-12-14
公开(公告)号: CN111323422A 公开(公告)日: 2020-06-23
发明(设计)人: 许立诚;陈建龙 申请(专利权)人: 菱光科技股份有限公司
主分类号: G01N21/88 分类号: G01N21/88
代理公司: 北京律诚同业知识产权代理有限公司 11006 代理人: 梁挥;祁建国
地址: 中国台湾台北市内*** 国省代码: 台湾;71
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摘要:
搜索关键词: 即时 影像 清晰度 提升 方法
【说明书】:

一种即时影像清晰度提升方法,应用于具有多个矩形像素感测单元的线性扫描相机,所述影像清晰度提升方法包括下列步骤:使多个矩形像素感测单元沿着扫描方向移动,且同时撷取待测物影像中的至少三行的行像素值;判断目标行是否属于待测物影像的第一行,以决定输出行像素值或补偿运算值为输出值。

技术领域

发明涉及一种清晰度提升方法,尤其涉及一种应用于线性扫描相机且能够即时地改善影像清晰度的方法。

背景技术

自动光学检测(automated optical inspection,AOI)为一种高速高精度光学影像检测系统,其运用机器视觉做为检测标准技术,作为改良传统上以人力使用光学仪器进行检测的缺点。一般来说,在待测物件(例如半导体芯片)制作完成后,必须经过一道检测流程,利用自动光学检测装置检测待测物件的外观,筛选排除外观具有明显瑕疵的物件。具体地,自动光学检测是由光学检测机台的运作来进行,在检测过程中,是以光线照射待测物件,再通过影像感测器单元撷取待测物件照射后的影像来进行瑕疵的判断。在过去,自动光学检测大多采用面扫描(area-scan)摄影装置来截取待测物件的影像。面扫描摄影装置主要包含镜头及摄影机,镜头的视野范围将待测物件纳入而进行拍摄。然而,面扫描摄影装置的影像分辨率受限于镜头和摄影机的分辨率,故当视野范围愈大,影像分辨率愈差,且尚具有取像速度慢的缺点,故难以满足产业需求。

相较于面扫描,线扫描(line-scan)具较佳的特色与优点包括:1、光源控制方面,线扫描较面扫描来得容易控制;2、线扫描可以作连续性的扫描,以产生具连续性的影像;3、线扫描有利于高速移动或大宽度之待测物体的扫描;4、对于高分辨率影像处理的应用,线性扫描相机(line scan camera)的成本较低;5、线性扫描相机所撷取到的影像具备较佳的动态范围。

目前,线性扫描相机是一种光学感测装置,需靠扫描平台和外接光源把待测物影像转换成可供纪录或运算之电子讯号。然而在面对某些设计条件下,为了改善入射光量而对像素感测单元进行提升开口率(aperture ratio)的改进,可能会采用矩形的设计。然而在采用矩形像素感测单元时,在行扫描过程中会因为额外感测到除了目标行之外其他行的数据,而不同行之间的数据会互相产生干扰而无法最佳化,最终造成输出影像的清晰度会有变差的现象。再者,若采用事后补偿或修正方式不仅耗费更多时间与人力,且容易使影像失真率升高。

为此,如何设计出一种即时影像清晰度提升方法,来解决前述最终输出的影像清晰度变差的技术问题,乃为本案发明人所研究的重要课题。

发明内容

本发明之目的在于提供一种即时影像清晰度提升方法,通过在撷取数据与处理数据的改进,能够解决前述最终输出的影像清晰度变差的技术问题,而达到即时地提升输出影像品质之目的。

为了达到前述目的,本发明所提出的即时影像清晰度提升方法,应用于具有多个矩形像素感测单元的一线性扫描相机,所述影像清晰度提升方法包括下列步骤:第一步骤,该多个矩形像素感测单元沿着一扫描方向移动,且同时撷取一待测物影像中与该扫描方向垂直之其中至少三行的行像素值,该至少三行包括一目标行;第二步骤,判断该目标行是否属于该待测物影像的第一行;若是,则输出该目标行的行像素值为一输出值,且返回执行该第一步骤;若否,则对该目标行的行像素值进行一补偿运算处理以产生一补偿运算值,且执行下一步骤;第三步骤,判断该补偿运算值是否大于一像素最大值;若是,则输出该像素最大值为该输出值,且返回执行该第一步骤;若否,则执行下一步骤;以及第四步骤,判断该补偿运算值是否小于0;若是,则输出0为该输出值,且返回执行该第一步骤;若否,则输出该补偿运算值为该输出值,且返回执行该第一步骤。

进一步而言,所述的即时影像清晰度提升方法,其中,各该矩形像素感测单元具有一长边以及一短边,其中该长边平行于该扫描方向。

进一步而言,所述的即时影像清晰度提升方法,其中,该长边与该短边的长度比值为整数。

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