[发明专利]一种柔性力学图案化传感器及其制备方法

权利要求书

1.一种柔性力学图案化传感器，其特征在于，包括第一柔性衬底层(1)、第二柔性衬底层(2)以及柔性敏感层(3)；

第一柔性衬底层(1)的下表面上刻蚀有第一图案，第二柔性衬底层(2)的上表面上刻蚀有第二图案，

第一柔性衬底层(1)的上表面和第二柔性衬底层(2)的下表面粘接，柔性敏感层(3)采用化学方法复合于第二柔性衬底层(2)的上表面上；

第一柔性衬底层(1)、第二柔性衬底层(2)以及柔性敏感层(3)形成一个整体结构，所述整体结构外复合有柔性封装层(4)；

该传感器上还电连接有两个电极(5)，两个电极(5)均贯穿所述柔性封装层(4)且伸出；

刻蚀有所述第一图案的所述柔性衬底层(1)呈现为具有拉胀性能的凹角结构、手性结构或旋转刚体结构。

2.根据权利要求1所述的一种柔性力学图案化传感器，其特征在于，所述第二图案为蛇形、螺旋形、正弦形、网格形、金字塔形、圆柱或正方形凸起。

3.根据权利要求1所述的一种柔性力学图案化传感器，其特征在于，所述第一柔性衬底层(1)未刻蚀第一图案的面和所述第二柔性衬底层(2)未刻蚀第二图案的面之间通过高分子胶状材料粘接。

4.根据权利要求1所述的一种柔性力学图案化传感器，其特征在于，所述柔性封装层(4)采用聚二甲基硅氧烷、聚乙烯或聚酰亚胺制成。

5.如权利要求1所述的柔性力学图案化传感器的制备方法，其特征在于，包括以下步骤：

1)通过激光刻蚀机在两片刚性基底上分别刻蚀第一图案和第二图案；

2)对刻蚀有第一图案和第二图案的两片刚性基底表面进行清洗处理；

3)将步骤2)中清洗完成的刚性基底上的第一图案转移到第一柔性基底上，得到第一柔性衬底层；

4)在步骤2)中清洗完成的刻蚀有第二图案的刚性基底上复合容易剥落的柔性敏感层；

5)将步骤4)中制备的柔性敏感层从刻蚀有第二图案的刚性基底转移到第二柔性衬底层上，且机械地将刚性基底剥落；

6)将第二柔性衬底层与第一柔性衬底层粘接在一起形成一个整体结构；

7)在整体结构两端接出测试端，并用柔性薄膜进行封装，得到柔性力学图案化传感器。

6.根据权利要求5所述的柔性力学图案化传感器的制备方法，其特征在于，步骤1)中，两片所述刚性基底为塑料板；步骤2)中，清洗处理的具体方法为：将两片所述刚性基底在去离子水中超声清洗后吹干。

7.根据权利要求5所述的柔性力学图案化传感器的制备方法，其特征在于，步骤5)中，柔性敏感层转移过程为：通过利用具有良好粘附性的高分子胶状材料，将敏感层转移到第二柔性衬底层上，该过程中不破坏柔性敏感层的结构。