[发明专利]基于金属钨刻蚀模芯的微压印成形模具装置的成形方法

权利要求书

1.一种基于金属钨刻蚀模芯的微压印成形模具装置的成形方法，所述成形方法结合的微压印成形模具装置包括凸模(21)、凸模固定键(22)、凸模固定套(23)、凸模垫块(24)、凸模固定板(4)、坯料(5)、坯料固定板(6)、坯料垫块(7)、凹模(8)、推块(9)、凹模隔热板(10)、自适应平台承料台(11)、自适应平台底座(12)、自适应平台固定板(13)、自适应平台固定销(14)、上隔热板(1)、上模板(2)、上垫板(3)、下隔热板(15)、下模板(16)、固定板、导套(18)、导柱(19)和加热圈(20)；

上模板(2)与下模板(16)分别与上隔热板(1)和下隔热板(15)相连，通过四根导柱(19)和四个导套(18)对模具进行定位和导向，上模板(2)、上垫板(3)以及凸模固定板(4)通过螺栓依次连接固定；

凹模隔热板(10)连接在凹模(8)与自适应平台承料台(11)之间，自适应平台底座(12)通过自适应平台固定销(14)与自适应平台固定板(13)固定在下模板(16)上；

凸模(21)通过凸模固定套(23)、凸模固定板(4)、凸模固定键(22)固定在上垫板(3)上，所述的凹模(8)采用全封闭式结构，坯料(5)放置在凹模(8)内，通过坯料固定板(6)将坯料(5)固定在凹模(8)内，坯料垫块(7)和推块(9)分别放置于在凹模(8)中；

其特征在于：微压印成形方法，首先将上模板(2)与下模板(16)通过螺栓分别与压力机上横梁与底座连接，将坯料(5)置于坯料垫块(7)上，再将坯料固定板(6)扣在坯料(5)上，使坯料(5)置于坯料固定板(6)下面开好的与坯料(5)尺寸匹配的槽内，坯料垫块(7)与推块(9)上都有小斜面，通过这个小斜面，拉动推块(9)，坯料垫块(7)即可向上或向下移动，放料时坯料垫块(7)低于凹模(8)平面，坯料(5)放入槽内，安装上坯料固定板(6)后，拉动推块(9)，坯料垫块(7)上升至与凹模(8)平齐，坯料(5)进入坯料固定板(6)腔内，套上加热圈(20)，与高精度控温装置相连，实现微压印加热以及温度控制，实现全封闭压印，将凸模(21)安装到凸模固定板(4)上，合模，将模具放置到压力机底座上，打开温度控制系统开关，设定目标温度，此时加热圈(20)将按照预定模式加热到目标温度，达到目标温度后自动进行保温。

2.根据权利要求1所述基于金属钨刻蚀模芯的微压印成形模具装置的成形方法，其特征在于：在装置进行加热的过程中，设置压力机加载方式，主要参数包括压力大小、加载速度、保压时间，当系统温度达到目标温度后，将压力机载荷清零，手动调整横梁缓慢下移，使凸模(21)与坯料(5)表面微微接触，启动加载和保压程序进行压印成形实验，在压印过程中，当坯料(5)与凸模(21)之间存在微小倾斜角度时，自适应平台承料台(11)与自适应平台底座(12)能够根据合模角度，灵活调整倾斜角度，且导向良好，以保证凸模(21)与自适应平台承料台(11)中心的同心度，实现凸模(21)与坯料(5)之间的平行度自适应调整；保压过程结束后，设备开模，在此过程中实现金属钨刻蚀模芯的凸模(21)与坯料(5)分离，脱模完成后，取出阵列微结构零件。