[发明专利]溅射靶材用铜铬镍硅合金背板的制作方法在审
| 申请号： | 201811532361.5 | 申请日： | 2018-12-14 |
| 公开（公告）号： | CN111321361A | 公开（公告）日： | 2020-06-23 |
| 发明（设计）人： | 姚力军;周友平;边逸军;庞学功;袁海军 | 申请（专利权）人： | 宁波江丰电子材料股份有限公司;丹东华强有色金属加工有限公司 |
| 主分类号： | C22F1/08 | 分类号： | C22F1/08;C22C47/08;C22C49/02;C23C14/35;B22D7/00;C22C49/14;C22C101/10 |
| 代理公司： | 北京集佳知识产权代理有限公司 11227 | 代理人： | 吴敏 |
| 地址： | 315400 浙江省宁波*** | 国省代码： | 浙江;33 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 溅射 靶材用铜铬镍硅 合金 背板 制作方法 | ||
1.一种溅射靶材用铜铬镍硅合金背板的制作方法，其特征在于，包括：
提供合金熔液；
将所述合金熔液进行浇铸工艺，形成合金锭；
将所述合金锭进行固溶处理工艺，所述固溶处理工艺温度为980℃-1020℃，时间为1h-2h。
2.如权利要求1所述制作方法，其特征在于，将所述合金锭进行固溶处理之后，还包括步骤：将所述合金锭进行时效处理工艺。
3.如权利要求2所述制作方法，其特征在于，所述时效处理工艺的温度为470℃-490℃，时间为3h-5h。
4.如权利要求2所述制作方法，其特征在于，将所述合金锭进行固溶处理之后，将固溶处理后的所述合金锭进行时效处理之前，还包括步骤：将所述合金锭进行水冷处理，所述水冷处理时间为1秒～10秒。
5.如权利要求1所述制作方法，其特征在于，提供合金熔液之前，包括提供金属铜、金属镍、铜铬合金以及硅块，将所述金属铜、金属镍、铜铬合金以及硅块熔化，形成合金熔液。
6.如权利要求5所述制作方法，其特征在于，将所述金属铜、金属镍、铜铬合金以及硅块熔化，包括：
将所述金属铜装入熔炼设备，充入惰性气体，升温到1100℃-1200℃，形成铜熔液；
于所述铜熔液中加入所述金属镍，进行搅拌，同时升温至1400-1500℃，保温10-30min，形成铜镍合金熔液；
于所述铜镍合金熔液中加入所述硅块，进行搅拌，保温10-30min，形成铜镍硅合金熔液；
于所述铜镍硅合金熔液中加入所述铜铬合金，进行搅拌，保温10-30min，形成合金熔液。
7.如权利要求1所述制作方法，其特征在于提供合金熔液后，还包括：将所述合金熔液进行除气处理工艺。
8.如权利要求7所述制作方法，其特征在于，提供碳管及镁金属颗粒，将所述碳管深入到所述合金熔液底部，所述镁金属颗粒的加入量为每500kg10-20g，静置20-30min，进行除气处理。
9.如权利要求7所述制作方法，其特征在于，将所述合金熔液进行除气处理工艺中，还包括步骤：将所述合金熔液的温度降为1300℃-1400℃。
10.如权利要求1所述制作方法，其特征在于，所述合金熔液进行浇铸速度为每分钟380-400kg。
11.如权利要求1所述制作方法，其特征在于，将所述合金锭进行固溶处理工艺之前，还包括：将所述合金锭进行锻造工艺。
12.如权利要求11所述制作方法，其特征在于，将所述合金锭进行锻造工艺之前，还包括：对所述合金锭进行热处理工艺。
13.如权利要求12所述制作方法，其特征在于，所述热处理工艺温度为850℃-950℃。
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