[发明专利]伴随射频导入的电加热喷淋板及其温控系统

权利要求书

1.伴随射频导入的电加热喷淋板，其特征在于，包括主体结构、加热器、热电偶、接地法兰（1），主体结构上放置加热器和热电偶（2），所述加热器和热电偶（2）均接地；

所述主体结构包括喷淋板（11）、喷淋上板（6，10）和喷淋板密封法兰（5），所述喷淋板（11）的上方设有喷淋上板（10），喷淋上板（10）上方设有喷淋板密封法兰（5），喷淋板密封法兰（5）以上的结构均处于大气中，以下的结构均处于真空中;喷淋上板（10）上放置加热器，所述加热器由加热丝（13）和衬套组成，衬套与接地法兰之间有弹性金属结构用于保证良好接触，接地法兰与机台其他已接地结构相连接，从而实现加热器的接地；

所述热电偶（2）的接地方式与加热器相同，由衬套与接地法兰（1）形成接地回路，衬套与接地法兰（1）之间设有弹性金属结构；

所述加热器为环状加热器，所述衬套为铝衬套；

环状加热器上中下三部分均为陶瓷材料，包括底部的陶瓷（9）、中部的陶瓷套管、上部的陶瓷罩（7），通过陶瓷（9）将环状加热器与喷淋上板（10）绝缘；在陶瓷罩（7）的上方设有压块用于保证良好的热传导传热；所述热电偶（2）外表面同样安装陶瓷套管（3）用于绝缘。

2.根据权利要求1所述的伴随射频导入的电加热喷淋板，其特征在于，喷淋板密封法兰（5）上连接有射频铜带（20），该射频铜带（20）用于将射频导入喷淋板（11）中，喷淋板密封法兰（5）与喷淋上板（6）之间有弹性金属结构用于保证射频导入良好，喷淋上板（6）与喷淋板（11）之间也有弹性金属结构用于保证射频的良好导入。

3.根据权利要求1所述的伴随射频导入的电加热喷淋板，其特征在于，进水口（15）、绝缘陶瓷（16）、流体通道（19）是连通的，用于冷却胶圈(12)；冷水块水道（22）、冰冷块（23）、绝缘陶瓷（24）、水路进口（25）是连通的，用于冷却胶圈（21）。

4.根据权利要求1所述的伴随射频导入的电加热喷淋板，其特征在于，所述加热丝的安装位置与近喷淋板（11）的上表面相邻。

5.根据权利要求1所述的伴随射频导入的电加热喷淋板，其特征在于，所述喷淋上板（10）为“土”字形结构；所述陶瓷套选用氮化铝材料。

6.根据权利要求1所述的伴随射频导入的电加热喷淋板，其特征在于，所述电加热喷淋板的电加热系统，包括温控系统、报警系统；具体为：喷淋板内装有一个加热丝（13）和两个热电偶（2、14），热电偶（2）用于控温，热电偶（14）用于报警；温控器通过对加热丝输出功率以达到设定温度，热电偶（2）实时反馈温度值给温控器，温控器通过PID自动调节可以实现喷淋板温度的精确控制；设定报警温度值，当热电偶（14）检测温度高于报警值时，报警模块将会切断温控器对加热丝的功率输出。