[发明专利]一种延长抛光布使用寿命的处理方法

权利要求书

1.一种延长抛光布使用寿命的处理方法，其特征在于，包括以下步骤：

(1)刷盘刷布：将刷盘放置在贴好抛光布的抛光机盘面上，用抛光机的压力头压住刷盘，压力范围为60～200kg，抛光机大盘转速为15～60rpm，刷盘转速为15～60rpm，刷盘与抛光机大盘旋转方向相同，抛光布上超纯水流量为1～20L/min，刷盘刷布的频率为抛光机每运行1～5个批次刷布一次，每次刷布时间为10s～5min；

(2)高压水冲洗：用高压水冲洗抛光布表面，高压水压强为10～20MPa，所用高压水为超纯水，高压水喷口距离抛光布5～50mm，用高压水把整张抛光布冲洗一遍；高压水冲洗抛光布的频率为抛光机每运行5～10个批次冲洗一次；

(3)修整环研磨：将修整环放置在抛光布上，用抛光机的压力头压住修整环，压力范围为60～100kg，抛光机大盘转速为15～60rpm，修整环转速为15～60rpm，修整环与抛光机大盘旋转方向相同，抛光布上超纯水流量为1～20L/min，修整环研磨抛光布的时间为10s～5min；然后使修整环与抛光机大盘旋转方向相反，压力范围、转速范围和超纯水流量范围都不变，继续研磨抛光布10s～5min；修整环研磨的频率为抛光机每运行20～30个批次进行一次。

2.根据权利要求1所述的延长抛光布使用寿命的处理方法，其特征在于，所述刷盘的直径与抛光机压力头的直径相同，刷盘的刷毛材质为尼龙。

3.根据权利要求2所述的延长抛光布使用寿命的处理方法，其特征在于，每根刷毛直径为0.5～1.5mm，刷毛露出刷盘的长度为5～20mm。

4.根据权利要求1所述的延长抛光布使用寿命的处理方法，其特征在于，所述步骤(2)单独进行，或者在进行步骤(2)时，同时进行步骤(1)的操作。

5.根据权利要求1所述的延长抛光布使用寿命的处理方法，其特征在于，所述修整环的直径与抛光机压力头的直径相同，修整环研磨面上的研磨颗粒的材质为金刚石颗粒、碳化硅颗粒或氧化铝颗粒，研磨颗粒的粒径为100～400目。

6.根据权利要求1所述的延长抛光布使用寿命的处理方法，其特征在于，所述步骤(3)单独进行，或者在进行步骤(3)时，同时进行步骤(1)和步骤(2)的操作。

7.根据权利要求1所述的延长抛光布使用寿命的处理方法，其特征在于，所述抛光机为单面抛光机。