[发明专利]一种电子级超纯二氧化碳的生产方法及其产品

权利要求书

1.一种电子级超纯二氧化碳的生产方法，其特征在于，包括以下步骤：

将带压气态二氧化碳(3)输入至二氧化碳脱硫罐(F1)中，二氧化碳脱硫罐(F1)输出脱硫后的二氧化碳气体(4)；

所述脱硫后的二氧化碳气体(4)先进入回热器(E1)中预热，再进入加热器(EH1)加热至300～500℃，然后进入催化转化炉(F2)，催化转化炉(F2)输出脱烃后的二氧化碳气体(6)；

所述脱烃后的二氧化碳气体(6)先进入回热器(E1)中回收热量，再进入水冷却器(WE2)，然后进入再生式干燥器，再生式干燥器输出脱水后的二氧化碳气体(9)；

所述脱水后的二氧化碳气体(9)进入原料二氧化碳过冷器(RU1)，原料二氧化碳过冷器(RU1)输出过冷后的原料二氧化碳液体(13)；

所述过冷后的原料二氧化碳液体(13)经节流为原料二氧化碳液体(14)；

所述原料二氧化碳液体(14)进入第一级汽提塔(C1)的顶部，作为第一级汽提塔回流液；

第一级汽提塔(C1)的塔顶输出含不凝气的粗二氧化碳(15)，所述含不凝气的粗二氧化碳(15)先进入第一级汽提塔冷凝器(RU2)，再进入塔顶分离器(G1)；塔顶分离器(G1)顶部输出含不凝气的粗二氧化碳气体(16)，塔顶分离器(G1)底部输出粗二氧化碳液体(17)，所述粗二氧化碳液体(17)回流至第一级汽提塔(C1)的塔顶；

第一级汽提塔(C1)的塔釜输出液体粗CO₂，并分流为两部分：第一部分液体粗CO₂进入C1塔底再沸器(E2)蒸发为气体，接着返回第一级汽提塔(C1)内；第二部分液体粗CO₂(18)进入第二级汽提塔(C2)的中部；

第二级汽提塔(C2)的塔顶输出气体CO₂，所述气体CO₂先进入第二级汽提塔冷凝器(RU3)，再进入塔顶分离器(G2)；塔顶分离器(G2)顶部输出含不凝气的气相二氧化碳，塔顶分离器(G2)底部输出液相超纯二氧化碳(19)，其中，一部分液相超纯二氧化碳(19)回流至第二级汽提塔(C2)的塔顶，另一部分液相超纯二氧化碳(19)经产品二氧化碳过冷器(RU4)过冷后，输入至电子级超纯二氧化碳液体贮罐(CG3)中，即得电子级超纯二氧化碳产品；

其中，所述第二级汽提塔(C2)设置有C2塔底再沸器(EH3)，所述第二级汽提塔(C2)的塔釜输出含高沸点杂质的液体CO₂(22)。

2.根据权利要求1所述的生产方法，其特征在于，所述脱水后的二氧化碳气体(9)分流为两股，其中一股为流向所述再生式干燥器的再生用的二氧化碳气体(10)，其中另一股为流向所述原料二氧化碳过冷器(RU1)的待过冷的二氧化碳气体(11)。

3.根据权利要求2所述的生产方法，其特征在于，所述再生用的二氧化碳气体(10)进入加热器(EH2)加热后，再流入所述再生式干燥器。

4.根据权利要求2所述的生产方法，其特征在于，所述待过冷的二氧化碳气体(11)进入所述C1塔底再沸器(E2)预冷却后，再流入所述原料二氧化碳过冷器(RU1)。

5.根据权利要求1所述的生产方法，其特征在于，所述含不凝气的粗二氧化碳气体(16)进入二氧化碳回收贮罐(CG2)，所述含高沸点杂质的液体CO₂(22)也进入二氧化碳回收贮罐(CG2)；设置在二氧化碳回收贮罐(CG2)中的液化器(RU5)用于冷却液化回收的二氧化碳；

其中，所述二氧化碳回收贮罐(CG2)顶部输出不凝性气体，所述二氧化碳回收贮罐(CG2)底部输出回收的二氧化碳液体。

6.根据权利要求1～5中任一项所述的生产方法，其特征在于，还包括以下步骤：

从原料二氧化碳贮罐(CG1)中抽出原料二氧化碳，经液体加压泵(P1)增压后，再进入原料二氧化碳汽化器(WE1)，以生成所述带压气态二氧化碳(3)。

7.根据权利要求1～5中任一项所述的生产方法，其特征在于，所述再生式干燥器为两台并联的分子筛吸附器(MS1，MS2)。