[发明专利]一种基于聚合物前驱体陶瓷的高温压力传感器

权利要求书

1.一种基于聚合物前驱体陶瓷的高温压力传感器，其特征在于，包括从上到下依次设置的上压层（3）、中间层（1）和下压层（4）；上压层（3）和下压层（4）外表面均喷涂有铂层；上压层（3）和下压层（4）的上方和下方均接触设置有金属导电层（5）；上压层（3）、中间层（1）和下压层（4）外设置在封装壳（6）内；中间层（1）上表面向上延伸出封装壳（6）形成压头（2）；上压层（3）对应导电层和下压层（4）对应导电层中均外接导线（7）；所述中间层（1）和压头（2）为氧化锆制备；上压层（3）和下压层（4）通过键合工艺组装在一起；上压层（3）、下压层（4）和封装壳（6）均为聚合物前驱体陶瓷制备，所述聚合物前驱体陶瓷采用方法1或者方法2制备；

方法1：

步骤1：在聚碳硅氮烷前驱体溶液中加入4wt%的过氧化二异丙苯，充分混合；

步骤2：在高纯氮气条件下在150℃条件下保温1h，然后在350℃条件下保温2h；

步骤3：将步骤2得到的材料球磨、造粒后压制成型，然后在300MPa下冷等静压得到样品；

步骤4：将步骤3得到的样品在900℃条件下裂解，得到陶瓷A；

步骤5：将步骤4得到的陶瓷浸入 溶解4wt%过氧化二异丙苯的前驱体溶液中，真空浸渍30min，在150℃条件下保温1h，在350℃条件下保温2h，然后在900℃条件下裂解；

步骤6：重复步骤2～5 n次后，得到陶瓷B；

步骤7：将陶瓷B在1400℃条件下裂解得到所需聚合物前驱体陶瓷；

方法2：

步骤1：在聚碳硅氮烷前驱体溶液中加入5wt%的光固化剂，在60℃条件下磁力搅拌0.5h，然后脱泡；

步骤2：将步骤1得到的溶液进行光固化；

步骤3：将步骤2固化得到的固体在150℃条件下保温1h，然后在350℃条件下保温2h；然后在1400℃条件下裂解得到所需聚合物前驱体陶瓷；

所述聚碳硅氮烷结构如下：

式中：Me为甲基，Vi为乙烯基。