[发明专利]一种用于金属掩膜板清洗系统的机械手

说明书

本发明涉及金属掩膜板清洗技术领域，具体是一种用于金属掩膜板清洗系统的机械手，包括安装在清洗系统纵向梁上的行走机构，行走机构上装有升降机构，行走机构包括矩形框架，矩形框架的一根横梁上装有减速电机，减速电机的两个输出端各装有一根传动轴，每根传动轴末端装有沿纵向梁行走的驱动轮，矩形框架另一横梁的两端装有从动轮，矩形框架中间固定装有一个龙门架，龙门架上装有抓取支架，抓取支架与装载金属掩膜板的吊具配合作用，龙门架上装有用于驱动抓取支架升降的升降驱动机构；本发明结构简单，成本低，维护费用低。

技术领域

本发明涉及金属掩膜板清洗技术领域，具体是一种用于金属掩膜板清洗系统的机械手。

背景技术

有机电致发光器件，具有自发光、反应时间快、视角广、成本低、制造工艺简单、分辨率佳及高亮度等多项优点，被认为是下一代的平面显示器新兴应用技术。在OLED（Organic Light-Emitting Diode，有机电发光二极管）技术中，用于真空蒸镀的掩膜板是一项非常重要和关键的部件，该部件的质量直接影响OLED产品的质量和制造成本。

掩膜板（Mask），特别是细小网格的掩膜板（Fine Mask），在初加工成型后，会在网格内或表面残留金属边角料等颗粒物质，影响掩膜板的正常使用。在循环使用的过程中，掩膜板上会沾上有机发光材料等杂质，这些杂质将影响掩膜板的精度或正常使用，在将掩膜板再次投入使用前必须清除。

目前用于清洗金属掩膜板的清洗系统包括若干个并排布置的清洗槽，通过机械手将装载金属掩膜板的吊具依顺序过清洗槽，现有的机械手结构复杂，投入成本较高，维护费用高。

发明内容

本发明的目的就是为了解决现有金属掩膜板清洗系统的机械手结构复杂，投入成本较高，维护费用高的问题，提供一种用于金属掩膜板清洗系统的机械手。

本发明的具体方案是：一种用于金属掩膜板清洗系统的机械手，包括安装在清洗系统纵向梁上的行走机构，行走机构上装有升降机构，行走机构包括矩形框架，矩形框架的一根横梁上装有减速电机，减速电机的两个输出端各装有一根传动轴，每根传动轴末端装有沿纵向梁行走的驱动轮，矩形框架另一横梁的两端装有从动轮，矩形框架中间固定装有一个龙门架，龙门架上装有抓取支架，抓取支架与装载金属掩膜板的吊具配合作用，龙门架上装有用于驱动抓取支架升降的升降驱动机构。

本发明所述升降驱动机构包括安装在龙门架两侧立柱上的齿轮链条传动机构，齿轮链条传动机构包括上端的驱动齿轮和下端的从动齿轮，驱动齿轮和从动齿轮上绕装有一根循环的链条，位于上端的两个驱动齿轮之间装有一根传动轴，龙门架上装有与传动轴连接的电机，所述抓取支架两端分别固定在两根立柱的链条上。

本发明所述矩形框架的四角处装有沿清洗系统纵向梁侧面移动的导向轮。

本发明工作原理如下：行走机构控制机械手沿清洗系统纵向梁水平移动，实现将吊具在不同清洗槽之间移动的功能；升降驱动机构控制抓取机构升降，实现将吊具从一个清洗槽内取出或将吊具放入槽内的功能。

本发明相比现有技术具有以下优点：结构简单，成本低，维护费用低，使用寿命长。

附图说明

图1是本发明的立体视图；

图2是图1的主视图；

图3是图2的A-A视图；

图4是图3的俯视图；

图中：1-矩形框架，2-减速电机，3-驱动轮，4-龙门架，5-抓取支架，6-链条，7-驱动齿轮，8-从动齿轮，9-立柱，10-电机，11-从动轮，12-导向轮，13-传动轴。

具体实施方式