[发明专利]OLED掩模板蒸镀检测清洁装置在审
| 申请号： | 201811523639.2 | 申请日： | 2018-12-13 |
| 公开（公告）号： | CN111318515A | 公开（公告）日： | 2020-06-23 |
| 发明（设计）人： | 唐军 | 申请（专利权）人： | 湖北浚山光电有限公司 |
| 主分类号： | B08B5/02 | 分类号： | B08B5/02;B08B5/04;C23C14/04 |
| 代理公司： | 黄石市三益专利商标事务所 42109 | 代理人： | 饶卓识 |
| 地址： | 435000 湖北*** | 国省代码： | 湖北;42 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | oled 模板 检测 清洁 装置 | ||
【权利要求书】：
1.OLED掩模板蒸镀检测清洁装置,其特征在于：具有机体，机体分为上、中、下三层，上层为吹风室，中层为掩模板放置室，下层为吸风室，吹风室的顶部安装吹风机，底部设有过滤膜；掩模板放置室的顶部设有支架，支架上固定有若干根紫光灯；掩模板放置室的底部为一个四棱锥台，四棱锥台的底部开有抽风孔，四棱锥台的顶部布置有若干根掩模板放置杆；吸风室内设有抽风机和电控箱，电控箱分别与吹风机、抽风机和紫光灯连接；所述掩模板放置室配装有室门，室门上设有观察窗。
2.根据权利要求1所述的OLED掩模板蒸镀检测清洁装置,其特征在于：所述吸风室配装有室门，室门为对开门，室门上设有控制开关。
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