[发明专利]基于纳米阵列的金属防护体系在审
申请号: | 201811520259.3 | 申请日: | 2018-12-12 |
公开(公告)号: | CN109402570A | 公开(公告)日: | 2019-03-01 |
发明(设计)人: | 不公告发明人 | 申请(专利权)人: | 深圳朗昇贸易有限公司 |
主分类号: | C23C14/16 | 分类号: | C23C14/16;C23C14/34;C23C14/02;C23C16/40;C25D9/04;C23C28/00 |
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地址: | 518000 广东省深圳市龙岗区龙岗街道南联*** | 国省代码: | 广东;44 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 纳米二氧化钛薄膜 金属防护 微纳结构 锌膜 纳米阵列 微米尺度 金属基 点阵 表面涂层 磁控溅射 凸起阵列 紫外光刻 电沉积 包覆 申请 表现 | ||
1.一种基于纳米阵列的金属防护体系,其特征在于,该金属防护体系包括金属基底、设于金属基底上的微纳结构层和涂于该微纳结构层上的表面涂层;该微纳结构层包括锌膜阵列和纳米二氧化钛薄膜,锌膜阵列为通过紫外光刻结合磁控溅射法制备,由微米尺度的点阵构成,纳米二氧化钛薄膜通过电沉积法制备,并将锌膜阵列包覆,该纳米二氧化钛薄膜也表现为一种微米尺度的凸起阵列;该表面涂层为一种低表面能物质。
2.根据权利要求1所述的金属防护体系,其特征在于,该锌膜阵列中单个点阵的长宽高尺度为30×15×1μm。
3.根据权利要求2所述的金属防护体系,其特征在于,该锌膜阵列中点阵之间的上下、左右间隔分别为80μm、50μm。
4.根据权利要求3所述的金属防护体系,其特征在于,该纳米二氧化钛薄膜的厚度为5μm。
5.根据权利要求4所述的金属防护体系,其特征在于,
该金属防护体系的制备过程为:
步骤1,处理金属基底:将金属基底经过14号金相砂纸机械打磨后,放入80℃的除油液中除油5min,再在50℃超声20min,最后依次用丙酮、乙醇、去离子水清洗后,快速热风吹干,在干燥箱中放置20h,备用;
步骤2,制备微纳结构层:
1)沉积锌膜阵列:
在金属基底表面涂覆一层光刻胶,烘干,经过曝光、显影,然后利用磁控溅射技术,在显影后的光刻胶表面蒸镀一层锌膜,锌膜厚度为500nm,然后利用丙酮将光刻胶洗掉,这样在金属基底表面形成了锌膜阵列;
2)配置二氧化钛前驱体溶液:
将12.5ml无水乙醇、0.5ml去离子水及0.25ml盐酸混合,然后将混合液在搅拌的情况下缓慢加入到10ml钛酸四丁酯与12.5ml无水乙醇的混合液中,搅拌30min,超声15min,得到二氧化钛前驱体溶液;
3)制备纳米二氧化钛薄膜:
将上述得到的二氧化钛前驱体溶液加入到三电极槽中,将上述沉积有锌膜阵列的金属基底作为工作电极,Ag/AgCl作为参比电极,铂作为对电极,控制电位在-1.3V,沉积时间为300s,用去离子水冲洗后50℃烘干,得到纳米二氧化钛薄膜;
步骤3,制备表面涂层
将上述得到的覆盖有微纳结构层的金属基底放入1ml的十七氟癸脂三甲基色氨酸硅烷的甲苯溶液(5v%)中,密封,在80℃烘箱中保温5h,完成低表面能物质的修饰。
6.根据权利要求1所述的金属防护体系,其特征在于,在该微纳结构层中,在锌膜点阵上设有氧化锌纳米线,纳米二氧化钛薄膜将锌膜阵列、氧化锌纳米线包覆,纳米二氧化钛薄膜也表现为一种微米尺度的凸起阵列。
7.根据权利要求6所述的金属防护体系,其特征在于,该氧化锌纳米线的长度为3~5μm。
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