[发明专利]有机聚硅氧烷化合物和包含其的活性能量线固化性组合物

权利要求书

1.有机聚硅氧烷化合物，其特征在于，具有由下述式(I)、(II)和(III)表示的结构单元，并且与硅原子直接结合的烷氧基数和羟基数的合计相对于硅原子数之比为0.3以下，

【化1】

(R⁶)₃SiO_1/2 (III)

式中，R¹和R⁴相互独立地为氢原子、甲基、乙基、正丙基、或异丙基，R²和R⁵相互独立地表示碳原子数1～10的2价烃基，R³表示氢原子或甲基，R⁶相互独立地表示氢原子、可被卤素原子取代的碳原子数1～8的烷基、苯基、(甲基)丙烯酰氧基丙基、或缩水甘油氧基丙基，n表示满足0≤n≤2的整数，m表示满足0≤m≤2的整数。

2.根据权利要求1所述的有机聚硅氧烷化合物，其中，具有由下述式(IV)表示的结构的硅原子数相对于硅原子数之比为0.03以下，

【化2】

3.活性能量线固化性组合物，其含有根据权利要求1或2所述的有机聚硅氧烷化合物和光聚合引发剂。

4.根据权利要求3所述的活性能量线固化性组合物，其还含有所述有机聚硅氧烷化合物以外的聚合性不饱和化合物。

5.根据权利要求3或4所述的活性能量线固化性组合物，其还含有溶剂。

6.使根据权利要求3～5中任一项所述的活性能量线固化性组合物固化而成的固化物。

7.抗蚀膜，其由根据权利要求6所述的固化物制成。